真空镀膜技术大全
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用于小尺寸工件真空镀膜的方法及其装置
本发明涉及用于小尺寸工件真空镀膜的方法及其装置，属真空镀膜技术领域。本方法将装载小尺寸工件的网笼周期性地控制在镀膜速度Nd和翻炒速度Nf下转动。本发明设计的镀膜装置，包括控制电源、电机、减速机和真空镀膜室，其中的真空镀膜室包括真空室、网笼和多个蒸发源，蒸发源置于真空室的圆周上，电机由控制电源控制其转速。本发明的方法及其装置，通过调整和控制网笼转动的速度，使小工件转动中产生的离心力克服小工件本身的向下重力，均匀地贴合在网笼的圆周壁上，减少工件之间的重叠，增大工件被镀表面，提高镀膜效率。并减少工件与工件之间或者工件与网笼壁之间滚动、滑动和碰撞的强度和持续时间，从而有效地减少工件表面的划伤和磨损。
纳米真空镀膜彩虹玻璃
一种纳米真空镀膜彩虹玻璃生产设备有四个主要部分组成。1.空光学镀膜机设备2.膜玻璃清洗设备3.制高纯水设备4.冷却水槽。其特征是：科技含量高，应用范围广、无污染、无公害的绿色环保产品。其特征是：新颖、艳丽、豪华、美观、时代感强，用途广泛：如宾馆、舞厅、家装、卫浴、屏风、地板、顶棚、整体厨房等。从以上彩虹玻璃的用途看，市场前景广阔。
真空镀膜涂料（油）
本发明涉及一种真空镀膜技术所采用的底、面层涂料，俗称真空镀膜油。其重量百分比组份为：植物油及其脂肪酸30-45％；多元醇1-10％；酚醛树脂4-10％；苯骈呋喃树脂0-8％；改性氯化聚烯烃0-3％；偶联剂0-3％；异氰酸酯5-8％；混合溶剂油加至100％。经过醇解、热聚合、加成、氨酯化等反应而制成。本涂料可用于塑料、金属、陶瓷、玻璃等制品真空镀膜的表面涂覆，主要性能完全适合真空镀膜技术的全过程，既可作为底层涂料，又可作为表面保护层涂料。漆膜具有优良的光泽、硬度、耐湿热、耐酸碱和优良的透明性、装饰性和染色性能，具有适应范围广，无毒副作用，使用期长等特点。
用于真空镀膜设备溅射阴极的靶及其制造方法
在一个用于真空镀膜设备溅射阴极的靶上，具有一个用于将板形靶固定在阴极底板（９）上的、至少部分地围绕待溅射材料（１９）的框架（３、４、５……７），并具有一个设置在框架和阴极底板（９）之间的、由柔性的、但是导热性良好的材料制作的隔离薄膜或夹层（２０），如碳薄膜，其中，框架（３、４、５、……７）具有为数很多的、自框架出发在一个与靶平面平行的平面上分别有一段伸入靶材料的、与框架固定相连的柱、舌或条形突出部（３ａ、３ｂ……4a、４ｂ……７ａ、７ｂ……）。用于把靶材料（１９）固定在被框架构件围绕的空隙（Ａ、Ｂ、Ｃ）中。
在真空室内放有一个装蒸发物的坩埚的真空镀膜设备
真空镀膜设备的真空室（３）中放有一个盛蒸发物的坩埚（４）和一种与蒸发物保持距离的被镀物。蒸发物为金属或金属氧化物或其混合物，被镀物例如为一种通过滚筒的薄膜（８）。在坩埚（４）上方，薄膜所通过的镀膜滚筒（６）的两侧分别配置一个小室（９、１０）用来分别放置一个与中频电源（１９）连接的磁控阴极（１１或１２）。其中，每个小室（９、１０）都通过一个单独的通路（１３、１４）与介于镀膜滚筒（６）和坩埚（４）之间的区域（２０）直接连通，而且两个小室都分别通过压力介质管道（２１、２２）与生产气源（２３、２４）连接。
真空镀膜采用致冷器的冷却方法
真空镀膜采用致冷器冷却方法是用在被镀工件必须冷却的真空镀膜技术中。由于采用致冷器冷却，和原有的水或液氮冷却系统相比，具有体积小，结构简单，操作简便，装卸容易，效率高，成本低等优点。它特别适用于易受热损坏的镀件的真空镀膜工艺中。
多孔非金属材料表面真空镀膜的方法
多孔非金属材料表面真空镀膜的方法，属装饰材料表面真空镀涂技术领域。$本发明采用水基胶粘剂，例：聚乙烯醇或聚醋酸乙烯乳液或骨胶的溶液取代现有技术中的油漆类底涂原料，因而在保持产品镀膜质量的条件下，降低了底涂成本约８０％～９０％。由于其封闭性好，价格低廉，因而又特别适用于装饰用的石膏、无釉陶瓷、木材、三夹板等表面的真空镀膜。
一种在玻璃钢制品上烤漆或真空镀膜的方法
一种在玻璃钢制品上烤漆或真空镀膜的方法。本方法属于玻璃钢制品的表面化学处理的方法。所用的胎模由带粘性的软土（如黄泥）、水泥、石膏、雕塑泥等在平板上制成。将多层胶合制成的型坯进行预处理，最后由不饱和树脂和滑石粉等配制成的腻子进行找光处理，用砂布打光后即可进行烤漆或真空镀膜。利用本方法所制成的玻璃钢制品，其表层光亮坚韧，色彩艳丽，抗腐蚀、抗老化、不易龟裂和脱落，同时工艺简单、价格低廉，具有很好的实用价值。
合金真空镀膜法
一种合金真空镀膜法，采用低熔点铜合金作原料，丝状原料放在真空室的钨铰丝上加热蒸发，使真空室内旋转的工件被镀上反射薄膜。本方法工艺合理，所加工的产品较美观。
真空镀膜保健餐具及制造方法
一种真空镀膜保健餐具及其制造方法，它由盖和本体组成，本体有２空腔，四周有边沿与盖的四周边沿相吻合，盖中部有凹槽，槽中有提手，餐具用不锈钢板材冲压型成，经过超声波清洗，再用８０℃热水和冷水，去离子水冲洗，然后在干燥筒中烘干，温度为１４０℃，然后在真空镀膜机中清洗，镀膜，使表面净化，降温即成，强度高、耐磨、抗酸性能好、可防止不锈钢中含有的镉、锰析出，危害人身健康。
真空镀膜仿金仿银装饰板生产方法
本发明是一种真空镀膜仿金仿银装饰板的生产方法。首先对待镀的微孔非金属装饰材料，进行表面净化处理，再在待镀的装饰材料上浸涂２—５遍氨基清漆和氨基稀料混合的待镀膜，送入真空镀膜机中，镀上金属铜或铝，然后再在金属镀膜上涂复一层有色金属防蚀剂。本生产方法，使低档次的装饰材料变为具有金属装饰效果的高档次装饰材料，而且保持原有非金属装饰材料的物理特性。本发明在建筑的内外墙、吊顶、等装饰领域，具有广泛的应用前景。
在光学基片上蒸镀镀膜的真空镀膜设备
在用于在光学基片如塑料眼镜片表面上蒸镀镀膜的真空镀膜设备中，光学基片被夹紧在支架上，支架本身在一个可抽成真空的容器内在可更换的蒸发源的上方或下方，支架由回转架装置构成，并有多个围绕一块圆形支承板（２３）设置的径向回转架，它们分别支承在一根临时可旋转１８０°的转轴上，其中，每一个回转架包括用于夹紧在固定一个要双面镀膜的基片的装置，或用于固定两个要单面镀膜的基片的装置，以及，在回转架（２１）或转轴（２２）上连接有用于同时回转全部回转架的回转机构。
真空镀膜设备的基片支架
用于在光学基片表面上蒸镀镀膜的真空镀膜设备的基片支架，光学基片可被夹紧在多个这样的支架上，支架本身装在一个可抽成真空的容器内在可更换的蒸发源上方，其中，在基片支架的径向延伸段中至少设有两个各用于一个基片的安装区，在这些安装区之间总有一个将基片支架分成段的活动关节或铰链，带着基片的支架段可围绕着铰链彼此相对地向两侧自由摆动一个预定的角度。
滑动轴承的真空镀膜装置
不同形状基体真空镀膜用的现有装置，在连续作业或分批作业的设备中，都是按下述方式配置的，即按一种镀膜工艺涂敷几层涂层。滑动抽承要涂敷几层涂层，所用的镀膜物质和与此有关的条件要求采用多项镀膜技术。这特别涉及一些输送参数。现有的设备不能满足这些要求。按本发明的这样一种装置包含几个连成一条线的处理室。采用形锁合和力锁合的配合方式一起保持在温度调节的支承体上的滑动轴承被移动通过上述的室，包括预处理室、溅射室、蒸发室，为此采用一种与此工艺相适配的输送系统。支承体用的温度调节装置连接在镀膜行程的上游。相应的输入和输出通道使得从大气到大气的输送成为可能。
紫外光固化真空镀膜底、面漆
一种紫外光固化真空镀膜底、面漆，度漆由丙烯酸改性双酚Ａ环氧树脂、多元醇和丙烯酸羟乙酯与甲苯二异氢酸酯加成物、反应性稀释剂、光引发剂、助剂组成，面漆由聚酯丙烯酸酯、酚醛环氧丙烯酸酯、活性稀释剂、光引发剂、附着促进剂、助剂组成，上述组成均按一定的重量百分比配比后，混合搅拌均匀，制得，本发明组份合理、制作简单、性能优良，应用广泛。
有机真空镀膜掩膜板的制作方法
本发明公开了一种在有机电致发光器件制作过程中，用于真空镀膜的掩膜板及其制作加工技术，它是在线切割及光刻腐蚀的基础上，利用齿（８）、槽（９）对镍铬合金丝（１２）进行限位，从而形成精细的掩膜板，分辨率为３条线／ｍｍ，可实现平板显示屏的矩阵选址。
真空镀膜机
本发明涉及一种用于装饰镀的真空镀膜机，它主要由两个真空室，采用粗、精抽分离的双路排气系统对两个真空室交替排气组成，它占地面积小，设备成本及电力配备比现有的镀膜机下降，且产量由传统的24－30轴/小时提高到60轴/小时。
真空镀膜计算机控制装置
一种真空镀膜计算机控制装置，由带有控制程序的计算机主机等组成，计算机主机与多功能数据采集器电连接后分三路：控制驱动样品架的步进电机，控制交流调速电机，与机械定位效准机构光电开关连接；串口与真空计、温控电源的串口连接：驱动板与阀门及开关电源接口连接，控制程序部分由初始化、真空度监视、电源开关及阀门控制、样品架公转控制、样品架自转控制、基片加热监控及退出模块组成。具有定位精度高，通用性强，自动化程度高，成本低等特点。
一种量产真空镀膜系统结构及其工件传输系统
本发明总体采用组合式多真空仓结构，其中至少包括2个或2个以上的真空仓，各仓至少具有镀膜或辅助处理中的一种功能，所述的各镀膜仓中至少有一个仓中能使工件沿环形轨道连续运行多圈以便于镀厚膜，各辅助处理仓可以实现镀膜之外的各种辅助处理；相邻真空仓之间通过自动真空闸门连接，能实现仓间流程控制和实时分配各单元的工作时间和舱位；采用一种柔性输送带在真空条件下沿导轨运行，能自动交换或输送工件，以保证实施节拍式连续化或自动连续化的大批量的镀膜生产线的需要。
电子束加热源真空镀膜
电子束加热源真空镀膜是属热处理行业领域。特别是一种用电子束来作为加热蒸发源的真空镀膜机。设备主要是用电子束加热的方法来给蒸发源进行加热。电子束的高能电子打到坩埚的镀膜材料上时，绝大部分电子被复合形成束流，同时，电子将动能转变成热能加热熔化蒸发镀膜材料。为了保证电子枪稳定地工作，电子枪的真空度因保持在5*10-2Pa以上，其主要的结果有：e型电子束加热枪1、活化极2、活化极电源3、工件偏压电原4、抽真空系统5、工件6、真空炉体7等组成。
高耐磨真空镀膜紫外光固化涂料
本发明涉及电子应用涂料领域，特别涉及高耐磨真空镀膜紫外光固化涂料。所述的高耐磨真空镀膜紫外光固化涂料的组成和含量为：二官能团聚氨酯丙烯酸酯10-30wt％，高官能团聚氨酯丙烯酸酯10-40wt％，高官能团丙烯酸酯单体5-20wt％，单官能丙烯酸酯单体0-15wt％，酸性附着力促进1-10wt％，光引发剂1-6wt％，纳米耐磨材料0-5wt％，助剂0.1-2wt％，溶剂10-50wt％。本发明针对手机、MP3、数码相机等电子产品的真空镀膜工件表面保护，具有表面效果好、超耐磨、耐高温高湿、抗冷热循环、耐黄变性能优异等特点，其中RCA磨耗最高可以达到1500次以上，有效提高了电子产品的使用寿命。本发明有效解决了紫外光固化真空镀膜涂料的附着力和耐磨性能，解决了紫外光固化真空镀膜涂料的底、面漆配套问题，具有广泛地通用性。
一种电镀结合真空镀膜制备Au-Sn合金焊料的方法
Au-Sn合金焊料属于半导体光电子和微电子技术领域。该领域已知技术需要昂贵的真空镀膜设备，耗费大量的贵金属，生产成本很高；完全利用电镀的方法存在电镀液难以配备且容易失效，沉积的金属复合层厚度和均匀性难以控制，烧结时合金焊料存在多孔。本发明之电镀厚Au层结合真空镀膜技术制备Au-Sn合金焊料的方法采用电镀厚金层结合磁控溅射金属导引层和热蒸发锡层来制备多层金属复合层，大大降低了焊料制作的成本，减少了不必要的耗费，且设备简单容易实现，很容易控制金属层的质量，使得功率型器件的封装散热焊料的制备更加实用和容易实现。该方法可应用于各种光电子器件和微电子器件焊装所需焊料的制备。
陶瓷真空镀膜工艺方法
一种陶瓷真空镀膜工艺方法，它属于真空镀膜技术领域，它包括如下工艺步骤：A：将日用陶瓷器件放入具有磁控功能的真空多弧离子镀膜机的真空室挂件内，在电流40～48安倍，电压450～490伏安时产生正离子磁性体沉积粒子；B：加热真空室，使得真空室的温度达到200～350℃之间，抽出真空室内气体达到真空度3×10-2Pa～5×10-3Pa时，放入气压在1Mpa～1.2MPa的氩气气体或氮气气体450ml～980ml；C：开启多弧钛靶在直流电流70～95安倍，直流电压450～490伏安时产生离子电极电流与钛靶相脉冲撞击在真空室内与氩气气体或氮气气体相反应而产生仿黄金或仿银色色彩，沉积在器件表面。本发明工艺简单，环保无毒，适合加工日用陶瓷或玻璃产品。
汽车轮毂表面真空镀膜处理工艺
汽车轮毂表面真空镀膜处理工艺，包括预处理、表面喷涂、离子清洗、真空镀膜及保护层制备步骤完成，本发明轮毂表面的金属层通过真空镀膜的方法沉积，避免了大量水资源的消耗、大量含重金属废水的产生以及由此产生的额外的成本；其次，除节约大量的贵金属外，由于油漆的流平作用，降低传统工艺的成本，同时简化了工艺，提高了效率，减轻了工人的劳动强度；再次，由于保护层与金属层的制备在同一真空实体中进行，避免了额外的工序，节约了劳动时间，制备的保护膜化学性能稳定，不会由于在高温环境和紫外线照射下变性，保证了轮毂的色泽；采用离子清洗，保证了膜层良好的结合力，大大提高了汽车轮毂的品质。
一种紫外光固化真空镀膜底、面漆
本发明公开了一种紫外光固化真空镀膜底、面漆，底漆由二官能脂肪族聚氨酯丙烯酸酯、环氧丙烯酸酯、三官能丙烯酸酯、二官能丙烯酸酯；附着力促进树脂、光引发剂、稀释剂、助剂任意配比组成；面漆由高官能脂肪族聚氨酯丙烯酸酯、大分子树脂、二官能脂肪族聚氨酯丙烯酸酯、三官能脂肪族聚氨酯丙烯酸酯、附着力促进树脂、光引发剂、稀释剂、助剂任意配比组成，将基材表面做上述底漆的涂装处理，增加了真空镀膜层的平整度和附着牢度；在真空镀膜之后，对真空镀膜层做UV真空镀膜面漆的表面涂装处理，防止金属膜层氧化，赋予其优异表面耐磨性和极佳手感。
用于真空镀膜工艺的光束共蒸发专用装置
本实用新型涉及用于真空镀膜工艺的光束共蒸发专用装置。该装置包括：光源；其特征在于：还包括一凹面镜、凸透镜；其中光源放在一凹面镜、凸透镜之间，并处在凹面镜的焦点上；凸透镜的焦点在靶面上；光源和凹面镜放在凸透镜的2倍焦距之外，该聚焦系统安装在真空室外；光束通过真空室的观察窗入射到真空室内的靶面上。真空室内安装有几个靶，就可以安装有几个聚焦系统。光源输出光经过凹面镜和凸透镜组成的聚焦系统，把光束聚焦在靶面上，使得靶表面的温度易于达到靶材的升华点。采用该装置制备的厚膜超导性能优良、质地均匀、致密、适合工业化应用。
真空镀膜用筒状铝材
本实用新型公开了一种真空镀膜用筒状铝材，筒状铝材由铝皮卷制成空心结构，且筒状铝丸两接口处留有缝隙，筒状铝材的一端设置有边框。由于本实用新型采用了空心筒状结构，在蒸铝过程中使筒状铝材能够受热均匀，解决了蒸铝时造成的“铝溅”，由于在筒状铝材的一端设置了边框，在设备运转使筒状铝材不易脱落。
真空镀膜轴向运动控制装置
本实用新型涉及一种高真空连续镀膜用轴向运动控制装置，该装置的供带辊、收带辊、随动压带辊固定于连接支撑装置上构成卷绕系统，供带辊、收带辊分别设置于镀膜基台两侧，两个随动压带辊分别设置于供带辊、收带辊与镀膜基台之间，供带辊、收带辊、随动压带辊辊轴方向平行于步进电机的轴向并垂直于圆柱形真空室中轴，PLC可编程控制器控制步进电机实现转动方向反转，与步进电机驱动连接的传动减速装置驱动连接支撑装置沿供带辊、收带辊、随动压带辊辊轴方向往复运动，带动基体带同步往复运动。该装置用于真空镀膜可实现基体带无斜拉伸、轴向无冲击，镀膜基体带幅宽达到300mm以上，提高了现有真空镀膜设备利用率。
真空镀膜机循环装片装置
本实用新型公开了一种真空镀膜机循环装片装置，它包括镀膜箱体和高真空抽提装置，镀膜箱体的上部为主真空室，在主真空室内有物料装置、主烘烤盘，蒸发源，镀膜箱体的边侧有箱门，在箱门上做有一个付箱体，付箱体与付机械泵相接，在付箱体与镀膜箱体之间隔有付高阀，在付箱体内安装有工件送出装置、工件接收装置、预烘烤盘。将本实用新型用在镀膜机能上，可大幅降低生产成本，提高生产效率。
真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板
本实用新型涉及一种对真空镀膜系统中真空室观察窗的改进。包括基板10、观察孔11、转轮12、转动轮13、弹簧14、磁铁15和观察孔16，本实用新型解决原有的观察窗在蒸发不透光的材料时，开始能看清真空室内蒸发物的情况，逐渐就模糊，往往没有等到蒸发的膜达到要求的厚度时，就看不见真空室内部情况。而使用本实用新型的转动档板，就能解决频繁更换玻璃的问题，能够在操作设备时，更方便看清真空室内的情况，从而能提高蒸发器件的成品率。本实用新型提供一种结构简单、操作方便、蒸发器件的成品率高、能在真空镀膜时始终能观察到蒸发情况的真空室观察窗转动档板。
一种真空镀膜机
本实用新型公开了一种真空镀膜机，该镀膜机的真空室为卧式圆筒形，且分为原料室、工作室和成品室。工作时板状工件从原料室移动至工作室，再移到成品室。该机工作效率高、镀膜均匀，能进行大批量生产，且大大降低了镀板状工件所需的电弧源或溅射源数，特别适用于镀制大平面不锈钢板、大平面玻璃、瓷砖或类似形状的工件。
真空镀膜设备中的速抽式真空系统
真空镀膜设备中的速抽式真空系统属真空获得技术领域，是一种速抽式真空系统。它采用具有嵌入式电热器的直热式扩散泵与前级泵组成的真空系统，可实现利用前级泵抽低真空的时间来完成直热式扩散泵的预热升温，大大缩短于抽真空所需的时间，在镀膜设备中有着很好的应用前景。
真空镀膜中水动旋转磁场式溅射靶及多弧源
真空镀膜中水动旋转磁场式溅射靶及多弧源属真空镀膜技术领域，是一种具有旋转磁场的新型溅射靶或多弧源。它利用冷却水作动力，成功地将角向极化式磁场和复合不等场强磁场应用在溅射靶和多弧源上，形成水动式旋转磁场的溅射靶和多弧源，大大提高了镀材的离化品质，有很好的应用前景。
带网状电极的真空镀膜装置
带网状电极的真空镀膜装置。由蒸发源（１），真空室（５）组成，其特征是，在蒸发源（１）和基板（４）之间设有网状电极（２），在网状电极（２）上设有一个可调直流电源。本实用新型结构简单，操作方便，镀膜质量精良，具有很好的推广运用前景。
电子显微镜制样用真空镀膜机
一种用于制备电子显微镜样品的真空镀膜机。目前国内外上述用途的真空镀膜机都只能用电阻法加热投影重金属，电阻法不能有效地蒸发钨、铂等难蒸发材料。为解决钨和铂的蒸发问题，采用在现有的真空镀膜机中安装一个低加速电压、小功率的电子枪，达到了有效地蒸发钨和铂的目的。采用钨投影的电子显微镜样品的分辨率比用铬投影高出四倍；用此法进行铂投影比电阻法铂——碳投影有操作简便，成功率高、对样品的热损伤小等优点。
真空镀膜隔热装饰板
本实用新型涉及到一种复合层状装饰板，适用于建筑室内装璜及需保温隔热、冷藏等场所，采用真空镀铝膜及微孔隔热保温层材料，具有生产成本低，装饰效果好，保温隔热性能优良等特点，同时对降低空调或制冷环境的能源损耗具有重大意义。
塑料真空镀膜保温瓶
一种塑料真空镀膜保温瓶，是家庭日常用品，由瓶盖、瓶体和底座构成。瓶体是双层透明塑料制造，瓶壁之间抽成真空并镀有铝或铬或银等金属膜层，瓶体外表面进行了涂饰或烫印或镀金属等处理。它的主要优点是：结构简单、轻巧，不易破碎，保温性能优良。
真空镀膜石膏装饰板
本实用新型是一种真空镀膜石膏装饰板，可广泛用于建筑物的内墙装饰和吊顶装饰。其结构由石膏板基体（１）、底层涂料（２）、真空镀膜金属层（３）和面层保护涂料（４）组成。这种装饰板不但保持了原石膏板高强质轻、防火阻燃及施工方便等特点，而且还别具一格地具有豪华的金属装饰色彩和图案，特别适用于高级豪华建筑。
塑料真空镀膜保温杯及保温器皿
本实用新型涉及一种日用的塑料真空镀膜保温器皿,包括保温杯、保温茶具和咖啡具，保温旅游餐具等。上述系列保温器皿具有容积较大、重量轻、不易破碎和保温性能好的特点，可以满足人们居家旅行、上班上学时对热饮食的需要。
塑料真空镀膜保温板
一种塑料真空镀膜保温板，是常温下保温隔热的结构件，由透明的面板、覆盖有热反射镀层的透明的膜板、承压的肋板、边框、面板和膜板之间的真空的内腔构成，可有效地防止热的辐射、传导和对流损失，应用在家电产品、食品工业等方面，可节约电能，减少设备损耗。
有机玻璃真空镀膜机
本实用新型属于玻璃表面热处理领域，它解决了现有的真空镀膜机不能镀制有机玻璃的问题。本实用新型由镀膜室、真空系统、蒸发系统、电控系统及工件组成。其特征在于装夹机构采用悬挂轻托形式，蒸发源间呈棱形分布，主要用于镀制有机玻璃、平面镜、热反射玻璃、建筑玻璃及用于广告行业的彩色有机玻璃。
真空镀膜机移动靶装置
本实用新型涉及真空镀膜机移动靶装置，包括沿导轨移动吊装磁控靶的移动装置，柔性冷却管和电缆，滑轮组，冷却管和电缆输入端子，无级变速装置及磁控靶，具有镀膜室比较小，移动靶装置结构简单，易于控制，被镀工件镀膜均匀等特点，提高了生产效率，降低了制造成本。
磁控溅射-多弧多功能真空镀膜设备
磁控溅射－多弧多功能真空镀膜设备，在真空镀膜室壁的密封法兰盘上，装有数个、不同种类金属靶材的平面磁控溅射靶；在镀膜室底面，装有加热器。其优点在于：可以制造大型的同类设备，拓宽了磁控溅射－多弧多功能真空镀膜设备的应用范围；增加了镀磁控溅射多层单质膜和合金膜的功能；靶材加工容易、成本低、装卸方便；靶材局部溅射残蚀后，重新加工损耗小；加工少量镀件，只要启动相应位置的磁控溅射靶。
真空镀膜炉内的自动振动翻滚装置
本实用新型涉及一种真空镀膜炉内的自动振动翻滚装置，它包括电机、蜗轮减速机、齿轮、托盘。在托盘上固定有空心端面凸轮，端面凸轮上设有滚动架，滚动架固定在料盘支杆的下端，滚动架在料盘支杆上的位置可调，料盘支架连接料盘，在料盘内设有一刮板，刮板通过链条拉在立杆上。随着电机带动托盘的旋转，托盘上安装的零件随之旋转（公转），小齿随托盘旋转时，并产生自转，实现物料在真空炉中的自动振动翻滚。
一种真空镀膜机收卷装置
本实用新型公开了一种真空镀膜机收卷装置，其特征在于在减速器４的输出轴的一端通过链轮７和链轮８传动收膜辊组９，收膜辊组９的两个收膜辊通过一组三个齿轮的齿轮组１０同步同向转动，减速器４的另一端通过链轮３经链条与水冷辊１１上的传动轴上的大链轮６传动联接，在放纸辊１２的轴伸一侧有一个电磁张力控制器１４，收卷膜辊轴浮动放置在收膜辊组９的上面。
一种改进的真空镀膜机收卷装置
一种改进的真空镀膜机收卷装置，包括支承在镀膜机墙板９的放膜辊１２，水冷辊１０，收膜辊１和在镀膜机墙板９外侧的电动机２及与电动机相联的减速器５，其特征在于在减速器５的输出轴的一端通过一个电磁离合器６与收膜辊１的传动轴相联，另一端通过一个链轮４经链条与水冷辊１０上的传动轴上的大链轮８传动联接，在放纸辊１２的轴伸一侧有一个电磁张力控制器１１。
多功能真空镀膜装置
一种多功能真空镀膜装置，包括真空室２和工件小车。真空室２上面装有与抽真设备连接的法兰１，后面有转动装置４、电极导入装置５和充气口６，前面设有密封门２３。真空室２内侧壁上装有８—３０个电弧蒸发源３。根据不同用途，工件小车构造有所区别。镀制塑料件的小车１３和多离子弧镀制瓷砖及金属件的小车１６均带有可以公转和自转的工件架１４。镀制较长零件的工件小车２０具有横向放置的长形的并可公转和自转的工件架２２。本实用新型功能多，既可镀幕墙玻璃，又可镀制塑料件、陶瓷件和各种金属件。
全封闭真空镀膜保温厢体结构
一种全封闭真空镀膜保温厢体结构，采用塑料板做为厢体的内外壳，厢体的内外壳之间抽真空，并在其间设有加强筋，厢体内外壳之间的内壳壁面上有防辐射的镀层，密闭连接成为保温厢体；这种结构更具备防尘、防雨的性能，无污染、自重轻、寿命长、工艺简单、成本低，具有良好的发展前景；可应用在冷库、冷柜及冷藏车等方面。
轴瓦减摩层真空镀膜机
本实用新型公开了一种轴瓦减摩层真空镀膜机的结构：在扁圆形真空室内安有旋转磁控靶，其外圈是靶材料；真空室内还装有主、从动轮，其上支撑着传动链，轴瓦架紧固在传动链上；等离子体处理电极安装在从动轮的中心；真空规管装在真空室顶上，进气管从真空室顶部伸入其内，用本实用新型镀覆的轴瓦减摩层，膜层致密、无杂质，与基底结合力强，耐疲劳强度等级更高，完全克服了电镀时形成的恶劣的工作环境及对环境的污染。
一种柱状磁控溅射源蚌形双室真空镀膜机
本实用新型公开了一种柱状磁控溅射蚌形双室真空镀膜机，两个镀膜室由两部分组成，一部分是固定不动的共用体，它与真空机组相联，另一部分是可以开合移动的前门，在两个镀膜室的中央分别安装旋转磁控溅射柱状源和工件。属于表面等离子体气相沉积领域，镀膜机结构简单、成本低廉、生产效率高，是一种新型磁控溅射镀膜机。
一种多用途真空镀膜机
本实用新型公开了一种多用途真空镀膜机。在镀膜室中央可以安装旋转磁控柱状弧源，用于镀氮化钛等化合物膜，也可以安装旋转磁控柱状磁控溅射源，用于在低熔点基材上镀纯金属膜。是一种多用途真空镀膜机。在柱弧源和柱状靶的靶管中安装的条形永磁体做旋转运动，在靶管表面的弧斑轨迹或辉光放电轨迹呈直线形或曲线形。
真空镀膜室的薄壳结构
本实用新型涉及一种真空镀膜室的薄壳结构，它包括壳体１１、门框１２、法兰２及门体３，其上敷设有加强筋４和冷却水道５，其特征在于壳体１１是由薄钢板经折边而成的由顶板、背板及底板所围成的三面体和两个连接短边构成的一体化结构，壳体１１与门框１２连接构成盒形壳体１，盒形壳体两侧装有法兰２，其前部装有拱形门体３，加强筋２和冷却水道３并设于盒形壳体内、外。本实用新型能大幅度节省金属材料，减轻设备重量，降低生产成本，提高水冷却效率。
真空镀膜/沉积用偏压热蒸发装置
一种真空镀膜／沉积用偏压热蒸发装置，属于真空镀膜或直空沉积技术领域，它包括有承载源材料的舟蒸发器，位于舟蒸发器下方（或上方，或侧面）的灯丝，与灯丝相连的灯丝加热电源，及一端与灯丝相连、另一端与舟蒸发器相连的偏压直流电源。本实用新型对源材料的加热是通过热辐射和电子辐射共同起作用的，后者占主导地位。它兼具电阻式热蒸发装置成本低和电子束蒸发装置沉积过程便于控制的优点，又摒弃了它们的缺点。
真空镀膜内反射式太阳能管
真空镀膜内反射式太阳能管是一种用于收集太阳能给水加热的装置，该太阳能管主要由内管和外管两部分所组成，内管的两头分别与外部直通，外管的两头封住并与内管焊接成一个整体，内管的外壁上设有吸热层，在外管的内壁上设有反光层，直射在内管上的太阳能被内管吸收，而直射在外管内壁的太阳能也被反射到内管上被内管吸收。这样有效地增大了受热面积，提高了太阳能的利用率。
真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极
本实用新型是在真空镀膜系统中用电阻加热式蒸发舟的电极，特别是涉及一种对于需要多次加料的电阻蒸发舟支持电极的改进。包括：电极柱、法兰、螺钉、电极连板、电极夹板、蒸发舟、轴、导线、转动电极连板和固定电极连板。它的转动电极可避免由于固定式电极在通电加热后，以及蒸发舟在上下装卸的过程中，由于应力的作用引起蒸发舟材料的折断，从而提高蒸发舟的使用寿命。在蒸发的升温和降温整个过程中不发生反复的弯折现象，达到延长使用寿命的目的。
真空镀膜装置
本实用新型涉及一种真空镀膜装置。由用步进电机驱动的样品架、靶、离子源、加热源、基片架和安装在真空室外面的机械泵、分子泵组成，其基片架通过行星齿轮组与样品架安装，圆周均布于样品架上方，样品架下设机械定位校准机构，于步进电机之上，步进电机、交流调速电机通过传动轴分别安装在样品架和基片架的绝缘轴套上；基片架和靶之间设有挡板；机械泵和分子泵构成真空室抽气机组。具有镀膜质量好，应用范围广等特点。
蒸发磁控真空镀膜机
本实用新型涉及一种真空镀膜机。它是在中间设置真空室，在真空室的左右两侧设置左右大门，而在其中配装蒸发装置和磁控装置，可在该双门上预留该两装置的接口，以备需要时换装。本实用新型设置单室双门的结构，可满足多膜系，多镀膜工艺的需要，使工作效率显著提高，适于各种金属和非金属材料的镀膜之用。
制备泡沫导电膜的卷绕式真空镀膜机
本实用新型制备泡沫导电膜的卷绕式真空镀膜机，属于用作制造氢镍电池等电极基板泡沫镍中对有机泡沫进行导电化处理的真空镀膜设备。该机的主要特征是真空箱体呈“回”字形结构；镀膜室的两侧分别装有一组磁控溅射靶，可以同时双面均匀地制备出连续带状泡沫的导电膜，且膜层细密；以此作电镀用阴极制得的泡沫镍，具有较强的抗拉强度和较小的内电阻。该机还可以实现电池电极基板其它卷材的磁控溅射镀膜。
真空镀膜机镀件放置网框
一种真空镀膜机镀件放置网框，属于真空镀膜机技术领域。它由网框和网盖组成；网框是在框架底部装有金属丝网，框架二头制有安装在真空镀膜机内的自转架上的安装管架，框架上设有网盖活动固定装置；网盖由盖框和装在盖框上的金属丝网组成。本实用新型能将大、小镀件简单、快速放置其内，然后可方便装在真空镀膜机内的自转架上；从真空镀膜机内的自转架上取下该框也十分方便，从网框内取出或倒出镀件更是方便快捷，因此，它能大幅度降低人工在真空镀膜机镀件放置装置上装和卸镀件的工时，提高真空镀膜机的工作效率。
用于对已配钥匙孔的锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具
一种对已配钥匙孔的锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具，包括与摆动机构连接的主架，与所述主架相交固接的承载锁体的横杆，所述横杆上固接有与钥匙孔配合的钥匙模型。本实用新型通过钥匙模型安装在钥匙孔内使锁体相对主架固定，锁体定位方便、可靠；在真空镀膜、喷漆的同时通过主架旋转实现锁体表面全方位的镀喷，真空镀膜喷漆效果好；一次真空镀膜喷漆的锁体数量多，提高了生产效率，降低了生产成本；可根据需要布置钥匙模型，适合大批量操作；结构简单、使用方便。
用于对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具
一种用于对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具，包括与摆动机构连接的主架，与所述主架相交固接的承载锁体的横杆，所述横杆上固接有定位锁梁的连接件。本实用新型通过连接件使锁体相对主架固定，如，磁性件与锁梁相吸固定，或者，弹性夹槽与锁梁夹持固定，锁体定位方便、可靠；在真空镀膜、喷漆的同时通过主架旋转实现锁体表面全方位的镀喷，真空镀膜、喷漆效果好；一次真空镀膜、喷漆的锁体数量多，提高了生产效率，降低了生产成本；可根据需要布置连接件，适合大批量操作；结构简单、使用方便。
用于对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具
一种用于对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具，包括与摆动机构连接的主架，所述主架上设有与锁孔底部漏水孔或固定锁梁的销子孔相抵配合的插条，所述插条的自由端朝上弯折。本实用新型通过插条穿入销子孔或漏水孔，由于销子孔与锁体上的锁梁孔是相通的，两孔相交形成的台阶刚好与插条自由端的弯折卡紧相配，从而使锁体相对主架固定；或者，漏水孔与锁体上的锁梁孔或锁孔相通，两孔形成的台阶刚好与插条自由端的弯折卡紧配合，使锁体相对主架固定，锁体定位方便、可靠；由于销子孔或漏水孔的孔径均比较小，为了便于操作，采用插条相对主架可拆卸的连接方式，插条布置在锁体之前先将插条从主架上卸下来，这样便于插条的装配。
真空镀膜设备
本发明公开了一种真空镀膜设备，其包括镀膜室、前级真空泵、高真空阀、低真空阀、高真空计、低真空计和镀膜膜料源，该镀膜设备还包括牵引分子泵，该牵引分子泵的进气口与镀膜室连接，排气口前级泵连接。并且在牵引分子泵轴承与抽气通道之间加设气流挡尘器。本发明的真空镀膜设备结构简单、抽气时间短、能耗低、生产效率高，并可提高真空镀膜产品的质量，特别适用于对油蒸汽污染敏感的各种真空镀膜应用领域。
童车的塑料轮毂真空镀膜工艺
一种童车的塑料轮毂真空镀膜工艺，它包括如下步骤：(1)向塑料轮毂的表面喷涂底漆；(2)对塑料轮毂进行烘烤，直至把底漆烘干；(3)对塑料轮毂进行真空镀铝；(4)在铝膜表面喷涂保护漆。塑料轮毂的主体采用材料，与铝合金材料相比重量轻，并且材料成本得以降低。
真空镀膜机中修正挡板的自动切换装置
一种真空镀膜机中修正挡板的自动切换装置，其构成是：在采用多个膜料蒸发源和对应的多块修正挡板的真空镀膜机中，对每一膜料蒸发源的每一块修正挡板设置一个伞式机械装置，该伞式机械装置包括在靠近膜料蒸发源真空室底板上竖直地安装一修正挡板支撑杆，该修正挡板支撑杆的顶端通过第一轴销连接一修正挡板安装杆，在镀膜机真空室底板下方靠所述的修正挡板支撑杆附近设置一气缸，该气缸的支轴垂直向上延伸一推杆，该推杆的顶端通过第二轴销连接一斜杆，该斜杆的另一端通过第三轴销与修正挡板安装杆相连，该修正挡板安装杆上安装所述的修正挡板。本发明解决了修正挡板对蒸发源发射的遮挡问题，可实现多种修正挡板的切换。
有定向及自控制功能的真空镀膜机
本发明的有定向及自控制功能的真空镀膜机属改进型的真空镀膜装置。其结构有：平台34上的真空罩15、真空泵33、支架2、基板托架12、钨丝35；加装的定向装置由蒸发器1、玻璃漏斗4和漏斗托架3组成；加装的膜厚控制装置由微量天平13、压力传感器37和控制电路组成；加装的淀积速率控制装置由上极板16和下极板23及直流高压电源构成。还加装有加热器17、基板传动装置和蒸发源与基板间距控制装置。本发明能避免蒸汽分子散射造成的浪费，防止大颗粒熔融物影响薄膜的质量；膜层与基板结合得更致密、膜层更均匀；能够控制镀膜的厚度；控制和加快淀积速率。本发明是在原设备基础上的改进，所以设备简单，投资较小。
真空镀膜工艺过程的自动检测方法
本发明提供了一种真空镀膜工艺过程自动检测的控制方法，该方法采用工艺检测回路，自动检测推入真空室体的蒸发源工件转架，并实现自动执行和切换蒸发电源的工艺过程，完全消除了蒸发源损坏，全炉工件报废的事故发生；本发明整个检测过程利用计算机软件控制执行，安全可靠、操作方便。
一种真空镀膜组态工艺控制方法
本发明提供了一种多功能的真空镀膜组态工艺控制方法，其将真空镀膜工艺流程划分为九个“过程”，可根据工件的质量要求来安排工艺，在同一套设备上，九种过程可以有多种组合，可以完成蒸发镀铝，也可以在镀铝完成后再镀氧化硅或者氟化镁，实现一机多用之功效；同时将九个过程进行编码，并由计算机编程实现自动控制，操作人员只需用键盘选择工艺过程即可，十分方便。
真空镀膜硫化锌的制备方法
一种真空镀膜硫化锌的制备方法，是将硫化剂与锌盐溶液共沉淀反应，所得沉淀经洗涤、干燥后，在还原气氛下焙烧，经打片成型，得到真空镀膜硫化锌。本发明方法工艺简单，操作方便，生产量大；采用液相硫化剂替代H2S作原料，有利于环境保护。用本发明方法制备的硫化锌进行真空镀膜，没有改变原有的镀膜工艺条件，涂层质量稳定，价格低廉，降低了产品成本，节约了能耗，成型的硫化锌柱体可直接置于真空系统的加热钼舟中，无须破碎，使用方便，提高了物料的利用率。
用于真空镀膜的弹性线状掩膜器
一种用于真空镀膜的弹性线状掩膜器，特别适用于电致发光元件的有机薄膜彩色条纹以及金属薄膜电极线条的制备。主要技术特征是掩膜线的两端连接有拉簧。靠拉簧的弹力将每根掩膜线都时时刻刻地拉紧拉直，绷紧绷直。提高了真空镀膜的精度、分辩率和重复率。提高了掩膜器的使用寿命，节约了人力和物力。
一种卷绕式铝-锌铝真空镀膜机
本发明涉及一种专门用于聚丙烯(BOPP)、聚酯(PET)电容器用薄膜的金属化加工的卷绕式镀铝-锌铝真空镀膜机，其特征在于用一组蒸发系统就可以完成铝-锌铝复合膜的真空镀膜一次完成。由于采用了在铝蒸发组件[10-2]的侧面并列并外侧抬起的斜置锌蒸发组件[10-1]并加大蒸镀鼓[6]的直径，斜置的锌炉[10-6]可以贴近、也可以远离大蒸镀鼓[6]，该技术可以节约设备投资、节约场地同样完成复合膜的镀膜任务。适合在行业中推广使用。
隧道式超真空镀膜机
本发明涉及隧道式超真空镀膜机，它公开了该隧道式超真空镀膜机的机架上设置有二个以上处于不同工作温度和工作压力的箱体，至少一个箱体内设置有镀膜装置。本发明的箱体高度由传统的1.2米提高到1.8米，绝对工作压力从传统的1×10-3Pa降低到1×10-4Pa，制造成本低，而产量由传统的100张/小时提高到400张/小时。
真空镀膜装置
本发明是一种真空镀膜装置，其包括一真空腔室、一旋转支撑组件、一基板支撑架、一蒸镀源，基板支撑架设置于真空腔室内，其与旋转支撑组件连接，包括多个基板，蒸镀源位于真空腔室内与基板支撑架相对位置处，该真空镀膜装置进一步包括一翻面装置和一翻面控制装置，翻面控制装置设置于真空腔室外，该翻面装置位于真空腔室内，且与该基板支撑架连接，通过该翻面装置和翻面控制装置可使该多个基板于真空腔室内水平翻转。本发明镀膜装置可使基片的一表面镀膜完成后，无需降温、破真空，取出翻面，减少了加热和抽真空次数。
真空镀膜涂料
本发明提供一种真空镀膜涂料，其原料的重量百分比为：植物油20～28％；多元醇1～10％；酸酐0～5％；松香酯12～35％；丙烯酸类共聚物1～5％；多羟基聚合物0.1～3％；改性聚烯烃0～5％；异氰酸酯2～4.5％；混合溶剂35～60％。通过醇解、酯化、加成、氨酯化等反应而制成。本发明适合塑料真空镀膜，主要性能符合真空镀膜的全过程，既可作为底层涂料，又可作为镀层的保护涂料；涂料稳定性好，不易析出；可以在高温高湿度等恶劣条件下施工；适应范围广，可应用于包括聚烯烃在内的各种塑料及其回收料，不需表面处理即可直接涂装；其施工方式既可采用浸涂方法，又可采用喷涂方法，以提高涂层质量，提高产品档次。
氧化钇稳定氧化锆真空镀膜材料及其制备方法
一种氧化钇稳定氧化锆的真空镀膜材料及其制备方法，该材料的原料mol％为：氧化锆75～98，氧化钇2～25，添加适量的聚乙烯醇结合剂。其制备方法包括以下步骤：①以氧化锆和氧化钇粉料为原料，按选定的摩尔百分比称量原料，混合均匀后添加聚乙烯醇结合剂使粉料团聚，造粒成型；②对颗粒料进行预烧，预烧温度为1200℃；③然后在真空烧结炉中烧结，然后自然冷却降温至室温。本发明氧化钇稳定氧化锆真空镀膜材料解决传统氧化锆镀膜材料镀膜过程中的不稳定和折射率不均匀性问题，提高氧化锆薄膜的损伤阈值。
镀膜源、真空镀膜装置、有机EL面板的制造方法和有机EL面板
本发明可实现获得良好的图案形成精度或者膜厚均匀性的镀膜。一种在基板(1)的被镀膜面(1a)上形成薄膜的真空镀膜装置的镀膜源(10)，具有：材料容纳部(11)，其容纳镀膜材料；加热装置(12)，其对材料容纳部(11)内的镀膜材料进行加热；以及镀膜流控制部(13)，其设置在材料容纳部(11)的喷出口，控制镀膜流的方向；镀膜流控制部(13)使镀膜流在被镀膜面(1a)相对镀膜源(10)的移动方向(X方向)上具有强指向性。
一种制备真空镀膜用石墨坩埚的方法
本发明提供了一种制备真空镀膜用石墨坩埚的方法。它包括以下步骤：1)将石墨坩埚置于浸渍釜中并抽真空，2)在真空下抽入浸渍封孔剂，所采用的浸渍封孔剂为树脂，树脂中还加有添加剂，所述添加剂为能溶于酒精的轻金属硝酸盐或硫酸盐或它们的任意比例混合物，轻金属为分子量小于30的金属，且其氢氧化物不溶于水和酒精，3)在加压状态下，保持一段时间，4)将坩埚置于固化剂中，用固化剂对添加剂进行固化，固化剂为氨水，5)在加压的条件下逐步升温，最高温度不超过1150℃。本发明有效地改善了封孔效果，制备出的坩埚使用寿命高，圆形坩埚能耐受加热22次以上，方形坩埚能耐受加热16次以上。
一种自旋可控的真空镀膜装置
本发明涉及一种可在真空中使用，配合磁控溅射、加热蒸发等物理气相沉积方法的自旋可控的真空镀膜装置，属于材料技术与器件技术领域。本发明包括电源、阴极、阳极，真空室，靶材架、样品架、连轴器、马达、调速器以及真空法兰，样品架放置在靠近阳极的一侧，靶材架放置在靠近阴极的一侧，通过马达连轴器与样品架相连接，而且马达通过真空法兰与导线和外部的调速器或其他器件相连接。利用本发明装置可以同时对物体的几个面进行同时镀膜，而且很容易做到难对物体的表面进行360°均匀镀膜。
用真空镀膜机制作镀膜装饰玻璃的方法
本发明公开一种用真空镀膜机制作镀膜装饰玻璃的方法，在0.1～0.5Pa真空、O2或O2/Ar环境下，使气体处于辉光放电状态，同时缓慢将钛丝蒸发，钛蒸气通过放电区与氧离子反应在玻璃工件表面形成致密、均匀、氧化充分、附着力好的二氧化钛膜，不仅有很好的装饰性、耐用性，而且还具有清除污染、净化空气的作用。
一种真空镀膜用涂料及其制备方法
本发明涉及一种真空镀膜用涂料，由含羟基聚丁二烯、多异氰酸酯、封闭剂和溶剂所组成；含羟基聚丁二烯分为两部分，先由第一部分含羟基聚丁二烯和NCO基团相对OH基团过量的多异氰酸酯在溶剂中反应生成分子链上连接有NCO基团的化合物，然后加入封闭剂使NCO基团封闭，最后加入第二部分含羟基聚丁二烯混合均匀即可；封闭剂在烘烤固化成膜过程中能够被全部释放出来并挥发完毕。涂膜具有优良的光泽、硬度、附着力、耐温性，可用于玻璃纤维塑料、金属等制品真空镀膜前的底面涂覆，尤其适于用作汽车、摩托车头灯用真空镀膜底漆。
一种新的真空镀膜方法和设备
本发明属于物理气相沉积技术领域，特别属于磁控溅射和电弧离子源真空镀膜技术方法和设备。其特征在于以两种或以上的不同金属为靶材，同时采用电弧和磁控溅射两种模式发射，其中至少一种靶材采用定向发射的细长形(圆柱或矩形)工业电弧离子源蒸发；在工件上施加幅值为50至1000V偏压；工件在转动过程中，依次经过不同材质的靶前，在惰性气氛中沉积出合金膜层，在反应气氛中沉积出合金的化合物膜层。一种新的真空镀膜方法，将一种新的工业电弧离子源与磁控溅射离子镀的电磁场相结合，并以低成本减少减小了电弧雾滴和基本保持了其高的离化率；利用纳米尺寸效应促进合化学反应，真空沉积出两种及以上金属纳米合金薄膜及其与非金属的化合物薄膜。
一种真空镀膜方法及该方法所使用的转动装置
本发明提供一种真空镀膜方法所使用的转动装置，所述转动装置包括一飞轮、一转动轴及一容置基材的载物装置，该飞轮通过所述转动轴与载物装置连接在一起。与现有技术相比，本发明真空镀膜方法及该方法所使用的转动装置，由于是在驱动转动装置转动时带动基材转动，再停止驱动，接着将容置基材的转动装置放入真空镀膜机内，再对基材进行镀膜，这样基材在转动的过程中不是靠驱动转动装置转动，而是靠转动装置自身的惯性转动，使基材在完全不受驱动干扰的真空环境下均匀镀膜，可以有效的避免镀膜不均匀等问题，有利于基材与其它电子组件之间的电性连接。
橡胶瓶塞真空镀膜工艺
一种橡胶瓶塞真空镀膜工艺，属于医药用橡胶瓶塞的真空镀膜技术领域。其特征在于将橡胶瓶塞集合模片整体放入真空镀膜室内进行真空镀膜。还可以是在橡胶瓶塞的集合模片的塞柱面贴附一带孔贴片，所述带孔贴片将集合模片不需镀膜部位贴附，然后将该集合模片放入真空镀膜室进行真空镀膜。还可以是将冲切的单个橡胶瓶塞排列放置在盘片上得到组合模片，然后整体放入真空镀膜室内进行真空镀膜。该橡胶瓶塞的真空镀膜工艺能够对整片的瓶塞集合模片或组合模片进行真空镀膜作业，有效提高真空镀膜的效率和产量，从而降低橡胶瓶塞真空镀膜的成本。同时该工艺还能简化瓶塞部分镀膜的操作工艺，实现高效、节约的镀膜操作。
一种真空镀膜方法和系统
一种涉及镀膜的真空镀膜方法和系统，其方法为：未镀膜物品依次通过多个真空室和一个镀膜室中的输入通道从大气环境进入镀膜室进行镀膜，未镀膜物品在镀膜完成后成为已镀膜物品，该已镀膜物品通过移位装置被移动至镀膜室中的输出通道，已镀物品通过所述镀膜室、多个真空室中的输出通道输出至大气环境，该系统包括多个真空室和一个镀膜室，在大气、真空室和镀膜室的相邻两个环境之间设有真空阀，其特征在于：真空室和镀膜室中具有两条传输通道，其中一条为输入通道，另一条为输出通道，镀膜室中设置一移位装置，移位装置将输入通道端部的物品移动至输出通道端部，本发明成本低，设备利用率高，工作可靠，实用性高。
在基材表面形成激光图案的真空镀膜设备、方法及制成品
一种利用在基材表面形成激光图案的真空镀膜设备、方法及制成品，主要是将聚碳酸酯基材或压克力基材放入真空镀膜设备中，将氧化硅及氧化钛蒸镀在基材表面形成镀膜层，再将已蒸镀完成的基材，以印刷方式布设图样层在基材另一表面，并在镀膜层上布设一颜色层；由上述方法所完成的产品，当基材透过光线照射，因镀膜层将光线折射，而会呈现不同的色彩变化及光影折射的视觉效果。
快速除去连续式真空镀膜的托盘上镀层的方法
一种快速除去连续式真空镀膜的托盘上镀层的方法，其中，至少包括如下步骤：a)备好托盘和废真空油；b)将废真空油均匀的刷在托盘上的金属表面，使油渗透到整个金属镀层内，以达到金属镀层内部间隙变得疏松；c)干燥刷好废真空油的托盘；d)将干燥好的托盘放到喷砂机室内，再利用喷砂的方法均匀而迅速的将附在托盘上的金属镀层处理干净。本发明目的是提供一种快速出去连续式真空镀膜的托盘上镀层的工艺方法。根据本发明处理后再喷砂，能够在短短4小时内处理好一块托盘上所有的金属镀层，提高了生产效率，节省了时间。
塑胶件表面真空镀膜工艺
本发明涉及一种塑胶件表面真空镀膜工艺，其工艺步骤为：将待镀塑胶件表面进行超声波清洗，然后在塑胶件表面施加一层厚度为5～20μm的底面涂层，再经紫外光固化，最后以锆金属为靶材在氩气流量140Sccm、镀膜功率2～9Kw、镀膜时间3～5秒、氮气流量大于等于50Sccm的条件下进行真空溅镀，得到厚度为10～70nm的反应性溅镀氮化锆薄膜。通过本发明的工艺在塑胶件表面镀覆的膜层具有半镜面光泽质感并具有良好的绝缘效果。
去除真空镀膜层的处理方法
本发明提供一种去除真空镀膜层的处理方法，其中，处理方法至少包括如下步骤：步骤一：将所需去除镀膜产品在酸和双氧水的溶液中浸泡；步骤二：将产品放置在清水中浸泡，以去除残留在产品上的镀膜和溶液。将产品表面的金属膜层在溶液中浸泡可以快速洗去镀膜层，使产品回复素材状况重新加工。所用原料成本低，易获得，并且废液处理简单环保。
一种互套双仓真空镀膜系统及其应用方法
本发明公开了一种真空镀膜系统，其空间布局采用互套双仓结构，其中一个镀膜仓和一个过渡仓，通过设置在两仓隔壁上的高真空阀锁，开启闸门两仓连通，可以在真空条件下在该两仓之间进行工件换位；关闭闸门两仓隔离，此时过渡仓充气不影响镀膜仓的正常工作。这种互套双仓真空镀膜系统具有结构简单、强度高、成本低和占用空间小等明显优势。同时本发明还公开了一种采用上述装置进行节拍式连续镀膜的方法，通过上述装置实现大批量镀膜生产，可以提高生产效率，降低成本。
木材表面真空镀膜制造方法
本发明公开了一种抗电磁辐射、导静电、增硬、调色、耐磨、耐虫蛀、装饰用的木材表面真空镀膜制造方法，其工艺步骤为：a.将木材表面进行清洁、平整处理；b.用氨基气密性树脂对木材表面进行封闭处理；c.将木材置于含有稀酸液或稀碱液的洗箱中进行清洗后烘干；d.在烘干木材的表面实施真空镀膜，使金属沉积在木材表面形成连续均匀的金属及氧化物薄膜。上述方法得出的木制品材料，在30MHz～1.5GHz频段，电磁屏蔽效能达到30dB以上，满足电磁屏蔽、导静电要求，并且工艺简单可行，环保、高效、低温，适于工业规模生产；可根据需要调整木材表面色调，使木材表面增硬、耐蚀、耐磨、美观雅致，可大大拓展木材用途，提高木材等级，做到木材高效利用。
加热装置及采用该加热装置的真空镀膜设备
本发明涉及一种加热装置及采用该加热装置的真空镀膜设备。该加热装置包括至少一灯管、一可旋转的反射罩及一控制该反射罩旋转方向的外置控制器，该灯管位于工件的一侧，该反射罩位于灯管远离工件的一侧，其具有一聚焦反射面，该聚焦反射面朝向该灯管。采用本发明加热装置的真空镀膜设备镀膜均匀性高，且加热待镀工件的速率快。
真空镀膜设备
本发明是有关于一种真空镀膜设备，其包括：真空镀膜杆；一镀膜座，以及一镀膜台，真空镀膜杆可插设于安装在镀膜台上的镀膜座中；其中上述真空镀膜杆包括：支撑杆，该支撑杆与镀膜台连接；绝缘管套，该管套套设于上述的支撑杆；蒸发热源，设置在绝缘套管上，及一电气系统，通过该电气系统加热置于蒸发热源上的镀料。本发明在传统设备的基础上，通过特殊设计的真空镀膜杆，在无需增加其他设备的前提下就可以实现对介电管内壁进行镀膜的目的，从而降低了镀膜成本和镀膜设备所占据的空间。
金属板带真空镀膜设备
本发明提供了一种金属板带真空镀膜设备，包括金属板带放卷机，加热蒸发金属材料的至少一把电子枪、在金属板带与被蒸发金属材料之间的金属蒸汽周围设置的将金属蒸汽电离成金属离子的等离子体机构，真空镀膜室，金属板带收卷机，在放卷机与真空镀膜间有对金属板带进行预加热的加热机构、至少一组对金属板带表面进行活化处理的离子束预处理机构。用线形电子枪蒸发金属材料，形成的金属蒸汽通过高密度的等离子体区时被电离成金属离子，金属离子在电场力的作用下快速的沉积在金属板带上，达到对金属板带镀膜的目的。该设备生产表面镀膜金属板带产量高、低成本，且获得的镀膜表面微观结构非常致密，表面平滑。
点弧和柱弧真空镀膜方法
本发明公开了一种点弧和柱弧真空镀膜方法。它包括如下步骤：1)真空离子镀膜设备抽真空；2)离子清洗；3)主弧轰击；4)镀底膜过渡层；5)镀结合膜层；6)镀化合物膜层；7)镀光亮层；8)降温。本发明采用阴极多金属多点点电弧和中心阴极旋转柱弧相结合的应用技术。利用点弧膜层沉积速率高、成本低和柱弧的镀膜的均匀性、粒子沉积细腻、结合密度高，结合力强，表面光亮度好的优点，达到(1)改善了膜层的致密度和表面光洁度，使膜层更细更致密和膜层光亮；(2)均匀提高了膜层的耐腐蚀能力；(3)减少或抑制液滴的产生和提高了抗氧化性能；(4)降低了生产成本，大大提高了生产效率。
一种真空镀膜成图方法、专用设备及制品
本发明公开了一种真空镀膜成图方法，其特征在于，其包括如下步骤：(1)制备、清洁玻璃胚体；(2)在该玻璃胚体需要成图的部位，进行成图预处理；(3)将胚体真空镀膜；(4)将胚体成图部位镂空成图。本发明还提供了一种用来实现前述的真空镀膜成图方法的设备；及采用前所述方法的制品。本发明的优点在于：由于本发明提供的方法，可以直接在镀膜层上获得图案，且获得的图案精度高、效果好；本发明提供的专用设备，可以一次同时对多个制品进行镀膜操作，生产效率高；本发明提供的制品，其艺术效果好、耐用，镂空图案立体感强、仿真度高，且不易变形或损坏。
用于真空镀膜的表面涂覆涂料
一种用于真空镀膜的表面涂覆涂料，由下述组份制成：混合脂肪酸30-45％；多元醇8％；混合酚醛树脂8％；苯骈呋喃树脂3％；改性氯化聚烯烃2％；异氰酸酯8％；混合溶剂油加至100％。本发明具有以下优点：既可作为底层涂料，又可作为表面保护层涂料。具有优良的光泽、硬度、耐湿热、耐酸碱和优良的透明性、装饰性和染色性能。无毒副作用。适应范围广。
水溶性真空镀膜涂料
本发明涉及一种水溶性真空镀膜涂料，其配方包括如下重量比原料：植物油及其脂肪酸10-20；多元醇2-10；酚醛树脂4-10；酸酐5-15；丙烯酸4-8；改性氯化聚烯烃0-2；异氰酸酯2-5；助溶剂4-8；中和剂适量；水50-60，经醇解、缩聚、加成、氨酯化以及添加助溶剂、调整pH值和加水溶解制成。可用于塑料、金属、陶瓷、玻璃、不饱和树脂、蜡、纸等制品真空镀膜的表面涂覆。其最大的特点是以水作为溶剂，不论是在配制或者是在施工中，不仅节约了大量石油资源——石油溶剂，而且无毒、无味、不易燃烧、不易引发火灾和人员中毒危害，属环保产品。
一种单向透光玻璃真空镀膜方法、专用设备及制品
本发明公开了一种单向透光玻璃真空镀膜方法，其特征在于，其包括如下步骤：(1)制备、清洁玻璃胚体；(2)测量玻璃胚体一侧面的形状及表面积，并据其计算为其镀上厚度为5～85埃的镀膜层时所需镀膜时间或所需镀膜材料的重量，及镀源电加热架的空间位置；(3)将玻璃胚体置入真空，控制镀源对其一侧表面镀膜，在该胚体一侧表面上形成厚度为5～85埃的均匀的镀膜层。本发明还提供了一种用来实现前述方法的专用设备，及采用前所述方法的制品。本发明的优点在于：由于本发明提供的方法，通过控制镀膜层厚度的方法，达到单向透光的效果；本发明提供的专用设备生产效率高；本发明提供的制品，其艺术效果好、耐用。
紫外线固化真空镀膜涂料
本发明提供了一种紫外线固化真空镀膜涂料，包括紫外线固化真空镀膜底涂料和紫外线固化真空镀膜面涂料，所述紫外线固化真空镀膜底涂料包括5～70重量份的聚氨酯丙烯酸酯树脂，10～80重量份的丙烯酸酯单体，2～10重量份的光引发剂，0.05～10重量份的流平剂，0.5～20重量份的其它助剂；所述紫外线固化真空镀膜面涂料包括0.5～50重量份的聚氨酯丙烯酸酯树脂，5～40重量份的环氧丙烯酸树脂，20～40重量份的醋酸丁酯，10～30重量份的环己酮，5～20重量份的乙醇，0.3～6重量份的附着力促进剂，0.5～15重量份的光引发剂。本发明的紫外线固化真空镀膜涂料，该涂料耐热性高，附着力好，耐候性好。
磁控溅射与多弧离子镀复合式真空镀膜方法
一种磁控溅射与多弧离子镀复合式真空镀膜方法，其特征在于该方法利用磁控溅射与多弧离子镀复合式真空镀膜机，采取磁控溅射镀镍与多弧离子镀镀铬的复合式真空镀膜方法，包括预处理、装炉与离子轰击、镀制镍膜层、镀制铬膜层、出炉与后处理和停机六个步骤，在铜基底上镀制镍铬复合膜，能够实现被镀工件一次装炉完成镀制镍、铬两种膜层。本发明方法镀制的产品满足铜制水暖件防腐耐磨涂层的要求，可以替代传统的水电镀，消除由此带来的环境污染问题。本发明可以实现批量化、高效率、无环境污染的生产加工。
一种真空镀膜用紫外光固化涂料组合物
本发明公开了一种真空镀膜用紫外光固化涂料组合物及其制备方法和喷涂方法，所述的固化涂料组合物包括树脂齐聚物、稀释剂、有机溶剂、紫外光引发剂和助剂。本发明提供的真空镀膜用紫外光UV固化涂料组合物具有附着力好、涂膜平整、工艺简单，生产效率高且不含有机挥发物VOC的优点，可用于真空镀膜领域。
真空镀膜设备工件三维转动机构
本发明主要涉及一种真空镀膜设备工件三维转动机构，包括有动力输入轴(1-1)、公转盘支撑座(1-2)、公转转动轴承(1-3)、公转盘转动连接盘(1-4)、公转盘(1-5)，在公转盘(1-5)上设有工件转盘支撑杆(13)，工件转盘支撑杆(13)上方设有上支架(14)，工件杆(4)通过转动支撑座(15)与上支架(14)连接，工件杆(4)上设置有工件旋转轴(11)，其特点是在公转盘(1-5)上设有工件自转和工件旋转机构，公转盘转动连接盘(1-4)与自转齿轮盘(2-2)固连。本发明可实现工件在真空环境中公转、公转+旋转、公转+自转、公转+自转+旋转四种不同状态的运动效果，具备灵活性、多样性，提高镀膜质量和生产效率。
一种真空镀膜设备及用于该设备的大气回转台
本发明公开了一种真空镀膜设备，包括用于对工件进行真空镀膜的真空镀膜室和大气回仓，大气回仓的入口与真空镀膜室的出口靠近，大气回仓的出口与真空镀膜室的入口靠近，还包括大气回转台，所述大气回转台靠近真空镀膜室的出口和大气回仓的入口，所述大气回转台包括旋转机构、用于将工件架从真空镀膜室运输到大气回转台上的第三移动机构和用于将工件架从大气回转台上运输到大气回仓内的第四移动机构，所述第三移动机构和第四移动机构跟随旋转机构旋转以交换位置。本发明采用大气回转台回收已镀膜的工件，占地面积小，回收节拍快，对传动精度与密封要求不高，有利于设备的维护。
真空镀膜设备
本发明所提供的真空镀膜装置，包括真空室[1]，真空室有进出工件用的门，真空室内安装有电弧靶[2]、磁控靶[6]、加热装置[3]和工件架[4]，工件架经一行星齿轮机构安装在真空室中；所述电弧靶有28到60个且分四列均匀分布在真空室壁上，电弧靶采用逆变电源供电；所述磁控靶为一对柱形靶且并列设置在真空室中心，磁控靶采用中频电源供电。因这一结构特性，使本发明在真空室中形成一个环形离子沉积区，使靶材获得较高的离化度和使得电弧靶和磁控靶之间等离子体分布均匀，从而提高镀膜效率和离子镀效果，降低镀膜成本，提高涂层均匀性，镀膜过程更易于控制。与现有技术相比，本发明可应用于超长工件，和获得超硬、超厚镀膜。
一种多室真空镀膜装置
一种双端多室真空镀膜装置，包括镀膜室、真空预备室和工件架车，在真空预备室的边侧部设有工件装卸台，真空预备室内设有两条工件架车转运轨道，在真空预备室的左右两端各连接有至少一个镀膜室，在所述的镀膜室内设有环形轨道，环形轨道分别通过轨道切换机构与工件架车转运轨道对接，工件装卸台设有“U”形传输轨道，“U”形传输轨道的两端与两条工件架车转运轨道横向相交，在相交处设有变轨装置和轨道槽，真空预备室与镀膜室和工件装卸台之间分别设有真空锁和门阀，真空预备室和镀膜室都与抽真空系统相连接。借助中间的真空预备室，可实现单机节拍式真空镀膜。在生产过程中镀膜室不暴露大气，缩短了生产周期，提高了生产效率，提高了膜层质量。
不导电膜层真空镀膜工艺
本发明涉及塑胶件表面处理技术领域，更具体地说涉及不导电膜层真空镀膜工艺，它包括以下步骤：第一步，调配镀膜材料银和铟，质量配比为4∶3，体积配比约为1∶1；第二步，将调配好的镀膜材料银和铟放入真空镀膜设备真空室内的材料筐；第三步，投入待镀膜产品，关真空室大门，对真空室进行抽真空；第四步，启动真空镀膜设备真空室的半自动蒸发功能，将电压调至1.70V，进行时间为28S的预热阶段；第五步，将电压调至3.10V，进行时间为12S的预蒸发阶段；第六步，将电压调至3.85V，进行时间为10～12S的蒸发阶段；第七步，开真空室大门并放入空气，取出产品；该工艺可有效解决不导电膜层颜色偏黄的问题。
真空镀膜表面颜色喷涂工艺
本发明涉及塑胶件表面处理技术领域，更具体地说涉及真空镀膜表面颜色喷涂工艺，它包括以下步骤：第一步，对产品进行喷涂UV底漆，对喷涂的UV底漆进行UV光固化；第二步，对产品进行真空镀膜；第三步，对产品进行喷涂UV面漆，对喷涂的UV面漆进行UV光固化；所述UV面漆加有颜料，UV面漆与颜料的比例为100(主剂 1∶1)-≥15％；该工艺可降低颜料的消耗量，减少喷涂次数，不但提高生产效率，还降低生产成本，另外还增加涂层间的附着力，保证手机外壳的质量。
真空镀膜中图案成型方法
本发明公开一种真空镀膜中图案成型方法，先制作用于印制所需要图案的网版，并选择网印后可固化且固化后可剥离的油墨；再通过网印的方法将油墨网印到玻璃基板所需要的图案上；接着，油墨固化，使油墨覆盖玻璃基板所需要的图案上；然后，在油墨已经固化的玻璃基板上进行真空镀膜；最后，完成镀膜后，把已经固化的油墨剥掉，显出所需要的图案部分。本发明可方便操作，降低成本，提高精细度，确保产品品质，更具规模化生产。
可调沉积速率的真空镀膜机挡板
一种可调沉积速率的真空镀膜机挡板，包括一块耐高温的圆板，该圆板的圆心处垂直地连接一个转轴，该转轴的下端连接一驱动装置，其特点在于所述的圆板，自圆心辐射地划分为多个扇区，这些扇区依次为全挡区、不挡区和一个以上阻挡程度由小变大的阻挡区直至所述的全挡区，所述的不挡区是该扇区的面板被挖空，所述的全挡区是该扇区的面板完全保留，所述的阻挡区的扇区各开设有孔径由大到小，密度由密集到疏松的多个通孔，而同一扇区的通孔的孔径相同，密度均匀；所述的扇区的大小完全覆盖膜料蒸发源。本发明能有效地在不改变蒸发方法和镀膜材料蒸发速率的情况下多级调整薄膜的沉积速率，从而达到改善薄膜沉积性能的目的。
真空镀膜与电镀结合保护单畴YBaCuO超导块材及其制备方法
一种真空镀膜与电镀结合保护单畴YBaCuO超导块材，在单畴YBaCuO超导块材表面上由里到外形成有用真空蒸镀的方法制成的金属层，和用电镀的方法制成的镀铜镀镍层或镀铜镀铬层。本发明利用真空镀膜与电镀结合的方法在单畴YBaCuO超导块材表明形成有一定厚度的金属镀层外壳，将超导块完全封住，有效地隔绝了空气中的水和二氧化碳，避免了超导块的潮解，达到了保护超导块材，延长其使用寿命的目的。
真空镀膜专用紫外光固化底漆
本发明涉及一种真空镀膜专用紫外光固化底漆，其中包含按重量份数计的丙烯酸改性聚丙烯酸树脂1-30份、聚氨酯丙烯酸树脂1-30份、丙烯酸改性活性单体4-45份、光引发剂1-6份，附着力促进剂0.1-10份，助剂0-2份，溶剂0-85份。本发明提供的真空镀膜专用紫外光固化底漆，采用一种在常温下为固体的高粘度树脂作为预聚体的主体，提高底漆的主体成膜物粘度，该底漆在喷涂后迅速成膜而不流动，且膜层很薄(通常在4-8um之间)，从而有效实现对带有纹路的底材表面的覆盖，同时镀材又不失机纹质感。
真空镀膜专用紫外光固化中涂漆
本发明涉及一种真空镀膜专用紫外光固化中涂漆，其中包含重量份数计的热塑性丙烯酸树脂1-35份，紫外光固化预聚体1-35份，丙烯酸改性活性单体3-45份、光引发剂1-10份，附着力促进剂0.1-10份，助剂0-2份，溶剂0-85份。本发明提供的中涂漆应用在真空镀膜工艺中，有效解决了对材质在加色、镭雕、丝印、移印、重涂等方面的特殊要求，提高了材质镀膜后的外观精致度。
真空镀膜镀层基片局部蚀刻工艺
本发明涉及一种真空镀膜镀层基片局部蚀刻工艺，它包括按如下工艺步骤：将整张基片表面进行真空镀膜、排版印刷、贴分切型保护膜、揭部分保护膜、蚀刻；在压膜机上安装分切刀具，使基片压贴保护膜和分切保护膜同步进行；压膜和分切是在同一台机器上同时进行的，先切后压连续完成，本发明的优点是，充分体现节能需求，在降低生产过程原材料的消耗的同时，满足了产品局部区域无镀层的要求，整个工艺过程仅进行一次镀膜就可进行后续工序，然后即可生产出高品质的产品，该工艺降低了成本，提高了效率；因此，本发明提供的镀层基片局部蚀刻工艺思路新颖、具有创造性和较高的实用性，有推广价值。
一种自吸气真空镀膜方法
本发明公开了一种自吸气真空镀膜方法，系在正式沉积薄膜前，真空度尚达不到预设值时，预先沉积一层薄膜，然后停止沉积，继续抽真空。利用该薄膜自身的吸气作用使气压迅速降低至设定值后，再进行正式的薄膜沉积。该方法能极大地缩短抽真空的时间，减少残留气体中活性气体的成分，提高薄膜的纯度，适用于利用物理气相沉积法制备活性的金属或其合金薄膜。该方法不需要对原有的镀膜设备做任何改动，具有操作简单、普适性强等特点。
一种自吸气真空镀膜方法
本发明公开了一种自吸气真空镀膜方法，系在基板与蒸发源或溅射靶之间设置了一个吸气罩，正式沉积薄膜前，真空度尚达不到预设值时，预先沉积一层薄膜，然后停止沉积，继续抽真空。利用该薄膜自身的吸气作用使气压迅速降低至设定值后，再进行正式的薄膜沉积。该方法能极大地缩短抽真空的时间，减少残留气体中活性气体的成分，提高薄膜的纯度，适用于利用物理气相沉积法制备活性的金属或其合金薄膜。该方法不需要对原有的镀膜设备做任何改动，具有操作简单、普适性强等特点。
真空镀膜的线状掩膜具
一种真空镀膜的线状掩膜具，适用于电致发光元件的有机薄膜彩色条和金属薄膜电极的制备。它主要含有带切口的固定框架，置放在固定框架相对平行两框外侧的带定位槽和顶紧螺丝的定位柱。弹性丝通过定位柱上定位槽的定位绕成平直线组构成掩膜线。掩膜线能够通过调节两端的固定螺钉使其拉紧拉直。能够随时调节顶紧螺丝使全部掩膜线绷紧绷直。本实用新型的掩膜具完全克服了在先技术中存在的掩膜线松塌后，不能再使其绷紧绷直等缺陷。提高了掩膜具的精度、使用率和寿命。
双室真空镀膜装置
一种双室真空镀膜装置，由一套真空获得设备组，一套蒸发加热电源装置，配置两台真空室而组成。其中真空获得设备组包括初级抽气真空泵组和深度抽气真空泵组，前者含一台真空泵和一台罗茨泵，通过旁通阀、真空阀和管道，分头连接到两台真空室上；后者含一台维持真空泵，一台罗茨泵和一台扩散泵，通过前置阀，连体真空阀等自成一路，也将两台真空室并联起来。真空室内均设置有蒸发加热器，由一套外置的包括断路器、接触器、调压器、变压器等电气设备的蒸发加热电源装置，通过两组转换开关交替地向其供电，在一台真空室镀膜时，另一台可进行卸真空，装卸工件等操作。或在一台真空室初级抽气时另一台真空可进行深度抽气。该装置节省了投资设备，较现有两台单室的镀膜装置节能30％，提高了产品质量，且大小不同的双室适应性广，可加工不同尺寸大小的工件，是一种升级换代产品，可广泛应用于各种真空镀膜设备。
一种用于热蒸发型真空镀膜设备的热蒸发源
本实用新型设计了一种用于热蒸发型真空镀膜设备的热蒸发源，包括料斗和加热片。其特征在于，所说的料斗为V字形斜槽，所说的加热片设置在V字形斜槽的底部。本实用新型改变了传统舟型蒸发源，盛放蒸发物料的料斗为V字形斜槽，物料的蒸发只依靠料斗底部的加热片。本实用新型提供的新型蒸发源克服了传统舟型蒸发源的缺陷，大幅度的提高了物料蒸发的稳定性，从而提高了镀膜的均匀性和质量。同时改善了对物料蒸发的可控制性，使镀膜过程更加易于控制和调节。这种新型的蒸发源适用于各种类型和尺寸的真空蒸发镀膜系统。
隧道式超真空镀膜机
本实用新型涉及隧道式超真空镀膜机，它公开了该隧道式超真空镀膜机的机架上设置有二个以上处于不同工作温度和工作压力的箱体，至少一个箱体内设置有镀膜装置。本实用新型的箱体高度由传统的1.2米提高到1.8米，绝对工作压力从传统的1×10-3Pa降低到1×10-4Pa，制造成本低，而产量由传统的100张/小时提高到400张/小时。
一种卷绕式铝-锌铝真空镀膜机
本实用新型涉及一种专门用于聚丙烯(BOPP)、聚酯(PET)电容器用薄膜的金属化加工的卷绕式镀铝-锌铝真空镀膜机，其特征在于用一组蒸发系统就可以完成铝-锌铝复合膜的真空镀膜一次完成。由于采用了在铝蒸发组件[10-2]的侧面并列并外侧抬起的斜置锌蒸发组件[10-1]并加大蒸镀鼓[6]的直径，斜置的锌炉[10-6]可以贴近、也可以远离大蒸镀鼓[6]，该技术可以节约设备投资、节约场地同样完成复合膜的镀膜任务。适合在行业中推广使用。
真空镀膜机加热装置
本实用新型涉及一种真空镀膜机加热装置，包括：一加热片，该加热片为一片体，该加热片为连续折线形，该加热片的两端均有一接脚；一薄形盒体，该薄形盒体为矩形，该薄形盒体的一端为开口，该薄形盒体内部空间大于加热片；该加热片容置在薄形盒体内，该加热片的两接脚露出于薄形盒体的开口之外。本实用新型具有升温迅速，加热均匀，蒸发过程中污染小，断电后，降温迅速的优点。
高效式真空镀膜旋转支架
本实用新型涉及一种高效式真空镀膜旋转支架，有一个固定盘式底座，该盘式底座上设置有一个内齿圈、一个三联驱动轮组、一个铝靶安装架；该底座上面通过支撑轴承安装有一个环形旋转主架，该旋转主架上设置一个转动内齿圈和多个旋转子架安装座；该旋转子架安装座上设有由双联行星齿轮组、镀件驱动齿轮、镀件安装架构成的旋转子架；所述双联行星齿轮组的上行星齿轮与环绕其周的多个所述镀件驱动齿轮啮合，其底部的下行星齿轮与所述盘式底座上的内齿圈啮合；所述三联驱动轮组的顶部齿轮与所述转动内齿圈啮合，其下部的动力输入皮带轮与主动皮带轮皮带连接，其底部的动力输出皮带轮与所述铝靶安装架上的从动皮带轮皮带连接。
内壁镀膜介电管的真空镀膜设备
本实用新型是关于一种内壁镀膜介电管的真空镀膜设备，其包括一真空镀膜台，其台面下为设备层部分，其台面以上为介电管的内壁镀膜部件，该介电管内壁镀膜部件包括：固设在真空镀膜台台面上的真空镀膜座；直接以电插座方式固定插接在真空镀膜座上的真空镀膜杆；以及由介电管构成的真空室。本实用新型内壁真空镀膜设备在传统设备的基础上，增设了真空镀膜座、真空镀膜杆和利用介电管本身构成的真空室，从而实现了对介电管内壁进行镀膜的目的；这样便无需大型昂贵的真空镀膜设备，而且最大限度地缩小真空镀膜室体积，并能够大幅度降低获取高真空度的能耗。
双室真空镀膜机
本实用新型涉及一种用于装饰镀的真空镀膜机，它主要由两个真空室，采用粗、精抽分离的双路排气系统对两个真中室交替排气组成，它占地面积小，设备成本及电力配备比现有的镀膜机下降，且产量由传统的24-30轴/小时提高到60轴/小时。
真空镀膜机用多路阀
本实用新型涉及一种双室真空镀膜机用多路阀。目前，真空镀膜多采用由一个扩散泵和一个三通歧管相连接，然后由两个高真空阀分别接到歧管法兰上，再由两个高真空阀分别接到两个真空室上，这个结构要有三个部件才能完成，常常使两个真空室分开得较远。本实用新型的阀体分为两层，一层为二个独立的高真空阀室，另一层为一三通歧管。把双真空室与精抽泵、粗抽泵之间实现了完整的连接，替代了过去常用的一个三通歧管和两个高真空阀的组合，使得双室镀膜机结构更紧凑，成本更低。
七彩变色玻璃真空镀膜机
本实用新型涉及一种七彩变色玻璃真空镀膜机，它主要由圆柱真空室(1)、密封门(2)组成，其特征在于：圆柱真空室(1)正面接有密封门(2)，两侧依次贯通接有扩散泵(31)、(32)和机械泵(61)、(62)，圆柱真空室(1)后面依次贯通接有罗茨泵(4)和两个机械泵(63)、(64)，其中罗茨泵(4)接有驱动电机(5)，在圆柱真空室(1)的底面设有不在同一圆心的两个蒸发坩锅(71)、(72)。它与现有技术相比，蒸发效率高，均匀度好，易于控制，产生色彩丰富。
有定向及自控制功能的真空镀膜机
本实用新型的有定向及自控制功能的真空镀膜机属改进型的真空镀膜装置。其结构有：平台34上的真空罩15、真空泵33、支架2、基板托架12、钨丝35；加装的定向装置由蒸发器1、玻璃漏斗4和漏斗托架3组成；加装的膜厚控制装置由微量天平13、压力传感器37和控制电路组成；加装的淀积速率控制装置由上极板16和下极板23及直流高压电源构成。还加装有加热器17、基板传动装置和蒸发源与基板间距控制装置。本实用新型能避免蒸汽分子散射造成的浪费，防止大颗粒熔融物影响薄膜的质量；膜层与基板结合得更致密、膜层更均匀；能够控制镀膜的厚度；控制和加快淀积速率。本实用新型是在原设备基础上的改进，所以设备简单，投资较小。
一种真空镀膜基片等张力卷绕的传感装置
本实用新型涉及一种真空镀膜基片等张力卷绕的传感装置，包括基片，该基片的两端分别卷绕在送料辊和收料辊上，在基片位于送料辊与收料辊之间的镀膜段上压接有张力传感辊，该张力传感辊置于位置检测仪的检测范围内。在真空镀膜机上安装这种真空镀膜基片等张力卷绕的传感装置和与之配套的位置检测仪、计算机，工作时能始终使基片的卷绕张力保持恒定，即使有波动，也在误差范围内，从而保证了膜层厚度的均匀，提高了产品质量。
一种真空镀膜机用加热罐
本实用新型提供了一种真空镀膜机用加热罐，该加热罐采用圆形的铸铁红外加热板，加热温度高、效率高，使用安全可靠，有效延长了加热罐的工作寿命长；同时在加热罐侧面设有三个石英玻璃的观测窗即油标，消除了原有技术中采用的玻璃管容易被撞碎的缺点，密封结构简单，使用安全，拆卸方便。
真空镀膜机的抽气系统
本实用新型提供了一种真空镀膜机的立体抽气系统，该系统利用一个支架将整个系统的结构、管路进行立体式配置，大大缩小了整个排气系统的体积、节约了系统的占地面积，同时缩短了整个系统的管道线路，有效提高了泵的抽速和效率。
内藏静电除尘机构连续式真空镀膜机
本实用新型是有关于一种内藏静电除尘机构连续式真空镀膜机，包含有一清洁区，内有一升降结构。一进料减压区，两端各设有一闸门，其中一闸门与清洁区连接。一真空镀膜区，两端各设有一闸门，其中一闸门与进料减压区连接。一出料增压区，两端各设有一闸门，其中一闸门与真空镀膜区连接。一取料反转区，与出料增压区连接，内设有一升降机构。一回流区，通反转区及清洁区，内设有一传送机构。
卧式电子束蒸发式真空镀膜机
一种工件以水平方向作旋转轴旋转的卧式电子束蒸发式真空镀膜机，电子束蒸发枪安装于工件架内部，工件架旋转轴为水平方向，工件以水平方向为轴进行公转或公自转。镀膜机主要由真空容器，电子束蒸发枪，工件架，反应充气系统，工件加热系统，真空抽气系统，膜厚测量控制系统组成。由于采用了卧式结构，从而使工件装载量大为提高且装载更为方便。实现了高效率、低成本镀膜。同时可以非常容易对圆柱状及管状工件以及大型工件进行均匀镀膜。
真空镀膜机用成型镀膜靶材
本实用新型涉及一种适用于真空镀膜机使用的镀制各种光学薄膜的成型镀膜靶材。该靶材采用与真空镀膜机坩埚内壁形状相符的成型块状结构，其结构形状为：柱状、圆台状、锥台状、环状、半环状、扇环状、盘状，是由超细粉状的镀膜材料经高压成型后真空烧结而制成。该靶材具有密度高、晶粒细小均匀的特点，由于采用的是整体成型块状，因此使用时间长，能够适应长时间地镀制多层光学薄膜，而且在真空镀膜后，膜厚均匀一致，重现性好，便于实现稳定批量生产。该镀膜靶材在使用中更换方便，能够提高镀膜效率，提高成品率，降低生产成本，特别适用于高品质、高精度光学产品的镀膜。
一种真空镀膜系统
本实用新型公开了一种真空镀膜系统，其中包括一个移动式切换仓、两个或两个以上的镀膜仓、镀膜仓的高真空排气装置、切换仓的真空排气装置，移动式切换仓可分别与各个镀膜仓对接；镀膜仓和切换仓分别设有相互匹配的对接口；在切换仓内设有两个可放置工件架的工位，并以一移动换位机构连接。采用本实用新型具有以下的有益效果：适于大批量生产；避免镀膜仓从大气压至高真空不断循环带来的排气负担和污染；提高生产效率；降低成本。
一种新型真空镀膜机
本实用新型提供一种新型真空镀膜机，包括有磁控溅射靶的反应磁控溅射镀膜机，还包括放置在反应磁控溅射镀膜机中的一只或多只定向发射的细长形电弧离子源。电弧离子源的布置位置与工件拉开较远距离，其蒸发面距工件旋转区域最近处大于100毫米，将电弧液滴减少和减小。电弧离子源蒸发方向指向抽气口一侧的镀膜腔半周，并用挡板或孔隙适当的栅网，围成半封闭的局部空间，从而以低成本将电弧液滴减少和减小，以便在工业上获得优质薄膜。这种镀膜机的突出特点是离化率高、防止靶材中毒、沉积速率高，所成薄膜具有结合力强、组织结构致密、表面光洁等特性。
用于真空镀膜的旋转式镀件架
本实用新型公开了一种用于真空镀膜的旋转式镀件架，具有设有自转传动齿圈的架座，包括电机、公转转盘、公转齿圈在内的公转传动机构和包括与自转传动齿圈啮合的自转传动齿轮和自转传动齿轮轴在内的若干个镀件安置架及其自转传动机构，以其所说的自转传动机构还包括小转盘、中间齿轮、若干个小齿轮和若干个镀件安置杆；小转盘固定安装在所说齿轮轴的上端部，中间齿轮通过其内孔与所说齿轮轴的位于小转盘以下部位转动配合，中间齿轮与公转转盘固定联结；小齿轮固定安装在镀件安置杆的下端部且与中间齿轮相啮合，镀件安置杆通过小转盘所设的通孔伸露在小转盘的上面，镀件安置杆与小转盘所设通孔转动配合为主要特征。具有镀膜加工生产效率高等特点。
一种用于真空镀膜领域的传动装置
本实用新型公开了一种用于真空镀膜领域的传动装置，所述传动装置包括密封装置(20、45)、公转大盘(28、51)、一次自转小齿轮(29、54)、一次自转轴(27、58)，所述传动装置还包括同心布置的至少两根传动轴、一次自转大齿轮(30、63)，其中，公转大盘与公转传动轴固定连接，一次自转大齿轮与一次自转传动轴固定连接，一次自转轴通过轴承与公转大盘相连接，一次自转小齿轮固定于一次自转轴上，并且与一次自转大齿轮相啮合。该传动系统可通过多台电机的协同操控实现工件在一定范围内的公转、一次自转和二次自转的任意组合以及工件架的定位。同时采用磁流体密封的同心多轴传动方式还可以有效的减少传动系统占用的空间和真空室的开孔数。
一种真空镀膜水钻
本实用新型公开了一种真空镀膜水钻。在该水钻底部由真空镀膜技术制备的反光层和覆在该反光层外的保护层组成。将磨制成钻石外观的水钻用去离子水清洗，烘干；底部朝上放入真空镀膜设备中，首先镀银或铝或铬层，然后转移到真空室的另一位置，进一步镀铜或铜锌等合金层。本实用新型水钻在制备过程中采用环保型的表面处理技术，在制备银反光层时不存在废水处理问题，同时还可用廉价的铝或铬来替代贵金属银，其反光效果与镀银层接近，并且真空制备的银或铝或铬镀层与水钻表面结合牢固，不易脱落。此外，保护膜不使用含有机溶剂的涂料，无挥发性有机化合物排放造成的环保问题，根据合金组成不同，还可以获得各种色泽的外观。
转动工件的实时测温装置及使用该装置的真空镀膜系统
本实用新型公开了一种转动工件的实时测温装置，所述的实时测温装置包括一活动部分和一固定部分，所述的活动部分由感温探头、信号处理与显示器、信号收发单元、电力供应单元组成，所述的固定部分包括信号收发器、数据处理与显示器和控制及接口单元组成。本实用新型的主要特性是测温准确，抗干扰能力强，效率高，应用范围广。本实用新型可应用于各种镀膜和化学热处理的加工工艺过程中。
真空镀膜机多级行星式工件架
本实用新型涉及一种真空镀膜机多级行星式工件架。现行镀膜机的工件架为一级行星式工件架，完成对太阳能集热管的镀膜工艺相对来说效率较低。本实用新型是在一级行星式工件架的基础上设置多级行星式工件架，即在前一级的行星架上设置后一级行星轮系的行星架、定轮、行星轴，充分利用了镀膜机真空腔室内的空间，大大增加既可绕镀膜机真空腔室中心作“公转”，又可以作“自转”的行星轴——待镀膜玻璃管的数量，从而提高了真空镀膜机单机、单次的产出率，也提高了靶材的利用率，相应减少了能耗，降低生产成本。
液晶显示器真空镀膜防辐射高亮度导光板
本实用新型涉及一种液晶显示器真空镀膜防辐射高亮度导光板的层状结构改进，属于液晶显示器技术领域。为了提高液晶显示器导光板的辉度和均匀性，本实用新型的导光板包括基材，所述基材至少一面镀有按光学规律分布的真空镀膜反光点。该导光板工艺切实可行，基材无任何损伤和污染，也无油墨印刷的黄变、脱落、寿命短或热融现象，又无需昂贵的模具投资，基材表面镀膜点的大小和分布，根据光学规律设计引导光向，从而提高亮度确保透光均匀；加之合理配制镀膜材料，还能够起到防辐射的作用，因此与现有技术相比，本实用新型具有突出的进步。
一种真空镀膜系统
本实用新型公开了一种真空镀膜系统，其空间布局采用互套双仓结构，其中一个镀膜仓和一个过渡仓，通过设置在两仓隔壁上的高真空阀锁，开启闸门两仓连通，可以在真空条件下在该两仓之间进行工件换位；关闭闸门两仓隔离，此时过渡仓充气不影响镀膜仓的正常工作。这种互套双仓真空镀膜系统具有结构简单、强度高、成本低和占用空间小等明显优势。通过上述装置可以实现大批量镀膜生产，提高生产效率，降低成本。
一种设有防漏装置的真空镀膜机
本实用新型涉及一种设有防漏装置的真空镀膜机，其包含有：一真空腔，真空腔的内室形成有镀膜区，镀膜区由若干隔板区隔出多个镀膜空间；一收发料机构，设于真空镀膜机的滑轨上，真空腔内室的上方设有供收发料机构滑移时导正的滑轨，收发料机构设有隔舱密封组，隔舱密封组的隔板对应真空腔隔板设置，当收发料机构送入至真空腔内室时，隔板区隔形成若干隔舱；隔舱密封组隔板二侧面固设有高出隔板的板片，其间形成嵌槽，嵌槽中组设有O型环，O型环为立体且内部设贯通的充气空间，外周设有充气嘴连通至充气空间，嵌槽中还嵌入真空腔隔板，O型环充气膨胀，密封二隔板间的缝隙，让各隔舱确实分隔密封。本实用新型具有极佳的防漏密封功效。
真空镀膜用旋转掩膜装置
一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架、掩膜板，基片架上开有放置所需镀膜基片用的基片槽，基片架套在转轴上，转轴的一端端部与掩膜板固接，掩膜板上设有定位孔和挡板，挡板可遮盖基片架上的基片槽，转轴上还套有固定钢柱，固定钢柱与基片架固定在一起，转轴与固定钢柱之间设有滚珠，使转轴可在固定钢柱内转动，固定钢柱上设轴向的通孔，通孔的位置与掩膜板上的定位孔相匹配，固定钢柱与掩膜板之间设有定位圆珠，定位圆珠卡在定位孔与固定钢柱的通孔间，通孔的另一端设置紧固螺栓，通孔内放置弹簧，紧固螺栓使通孔内的弹簧挤压定位圆珠。本实用新型的真空镀膜用旋转掩膜装置具有手感强、操作简便，不影响真空度及制造方便的特点。
真空镀膜机的防漏装置
本实用新型涉及一种真空镀膜机的防漏装置，其包含有：一隔舱密封组，其上设有多个多角形管体，各多角形管体间形成一圆弧凹室，且各多角形管体内部为一容置空间，两端形成有开口，隔舱密封组二端形成有端面；多个充气式O型环，其内部设有充气室，O型环环周设有充气嘴连通充气室，充气嘴前端形成自由端；多个密封盖，分别对应多角形管体的开口，密封盖可拆卸地盖合于开口并密贴隔舱密封组端面，密封盖在密贴隔舱密封组处设有沟槽，O型环组设其间，沟槽还设有孔洞贯通至密封盖外部，O型环的充气嘴从孔洞穿出，充气嘴的自由端突出于外。本实用新型通过充气膨胀的O型环可确实密封，并可在气密盖反复开合的动作下，仍能确保O型环达到气密容置空间不泄漏的效果。
一种改进结构的卷绕式真空镀膜装置
本实用新型公开了一种改进结构的卷绕式真空镀膜装置，该装置具有真空蒸镀室[1]，牵引辊[5]，制动辊[4]，以及一组引导辊[6]和[7]，在靠近真空蒸镀室[1]的下部是一个蒸镀辊[10]，其特征在于在蒸镀辊[10]的两侧具有一组弯辊[8]和/或者[9]。其优点是，由于弯辊的存在，使得在蒸镀辊[10]的位置被突然加热的被镀物质的受热膨胀后产生的横向力被本装置的弯辊产生的横向奋力抵消，从而保证了真空蒸镀薄膜材料在真空蒸镀室内的纵向和横向受力的基本均匀一致，从而保证了真空蒸镀薄膜的均匀和一致性。
一种积木式多用途真空镀膜机
本实用新型公开了一种积木式多用途真空镀膜机，镀膜室上匹配柱状镀膜源、平面阴极电弧蒸发源、平面磁控溅射靶、电阻蒸发源、离子源，各种源的接口通用性强、互换方式简便。镀膜机匹配与各种源相适应的多种新电源、抽真空系统、气进气系统、工件加热系统、工件转架。根据需要，各种镀膜源和电源可以方便地互换，进行多种组合，用于沉积多种膜系的多层膜，做到一机多用。
金属板带真空镀膜设备
本实用新型提供了一种金属板带真空镀膜设备，包括金属板带放卷机，加热蒸发金属材料的至少一把电子枪、在金属板带与被蒸发金属材料之间的金属蒸汽周围设置的将金属蒸汽电离成金属离子的等离子体机构，真空镀膜室，金属板带收卷机，在放卷机与真空镀膜间有对金属板带进行预加热的加热机构、至少一组对金属板带表面进行活化处理的离子束预处理机构。用线形电子枪蒸发金属材料，形成的金属蒸汽通过高密度的等离子体区时被电离成金属离子，金属离子在电场力的作用下快速的沉积在金属板带上，达到对金属板带镀膜的目的。该设备生产表面镀膜金属板带产量高、低成本，且获得的镀膜表面微观结构非常致密，表面平滑。
超大型等离子真空镀膜装置
本实用新型是关于一种超大型等离子真空镀膜装置，涉及真空离子镀膜设备。本实用新型是为解决对大型工件的等离子真空镀膜作业，而提出一种超大型等离子真空镀膜装置，其特征在于由第一、第二真空室、镀膜室、同步传动机构、行走架、采集器、偏压器件、加热器组成，镀膜室的两侧分别接置第一、第二真空室构成连通的一室，该室内设有行走架，行走架装接同步传动机构，镀膜室两端设有活动源座和离子发射源。本实用新型不仅可完成对大或超大型工件的镀膜作业，且由于采用了双向离子发射源的镀膜室，致使镀件可获得黑色、锆金色、玫瑰金色和咖啡色等丰富的色彩以及匀致性好、附着力强的镀层。本实用新型具有结构合理、效率高和节约工时的特点。
改进的等离子真空镀膜装置
本实用新型是一种改进的等离子真空镀膜装置，涉及等离子真空镀膜设备。其特征是镀膜罐设为水平卧置，沿镀膜罐体外表面纵向两侧对称的各设有一组外凸源座和离子发射源，两侧外凸源座均设于镀膜罐体轴心水平面之上；离子发射源固置于外凸源座，每组离子发射源的个数不少于6个；镀膜罐体分别设有进气口和排气口，进气口设于镀膜罐体密封底板的顶部，出气口设于镀膜罐体底部的纵向一侧。按本方案实施的镀膜装置，因将原有的立式镀膜装置改进为水平卧置式，不仅可以对大型工件施镀，而且也因在装置上改进了反应气路结构而获得深色的镀膜效果，其施镀的色彩艳丽均匀、膜层附着牢固。本实用新型具有效率高、成本低和节能的特点，是一种有益的改进。
一种连续真空镀膜装置
本实用新型是关于一种连续真空镀膜装置，包括真空镀膜机、分别密封串接在该真空镀膜机的两端若干个进件真空过渡室和若干个出件真空过渡室；该进件真空过渡室、该真空镀膜机和该出件真空过渡室之间贯通有工件输送装置；相连的真空过渡室之间、及与真空镀膜机之间均设有密封移门装置；其中，所述进件真空过渡室和所述出件真空过渡室数量相同，沿所述真空镀膜机对称的每一对该进件真空过渡室和该出件真空过渡室相互连通并连通有抽真空装置。采用上述结构后，使相应的密封移门装置的开启和相应的真空过渡室的抽真空操作可以协调、同步进行，对连续真空镀膜过程的节奏容易控制。
一种玻璃真空镀膜工件架
本实用新型涉及一种玻璃真空镀膜工件架，所述的工件架中间为蒸发源设置区，蒸发源连接电源，所述的工件架两侧分别设有玻璃固定区，其特征在于所述的蒸发源与玻璃平面平行。本实用新型工件架的蒸发源与玻璃平面平行，并且蒸发源与玻璃的距离加大，从而使得两侧的玻璃镀膜层喷洒均匀，厚度均一。工件架采用不锈钢材料焊接而成，减少了工件架对膜材的吸附。
金属内管双通式真空镀膜集热管
本实用新型涉及一种金属内管双通式真空镀膜集热管。它包括玻璃外管、双通式金属内管，外管与内管之间设置有包括可伐套管、波纹管、端盖的连接装置。玻璃外管的端部依次连接可伐套管、波纹管与端盖，并再与金属内管外周壁相连接。该连接装置，实现了外管与内管之间的过渡连接，能有效消除玻璃与金属材质热膨胀变形量的差异，本集热管不但能进行承压运行，而且玻璃外管与金属内管之间为密闭的真空层，使该集热管仍可保持良好的集热效果；本实用新型为双通式集热管，适用范围广，在生活及工业化太阳能热水器系统中，可多个并、串联使用；如在系统中再设置工质流量的控制装置，可达到工质流量及温度的双调控。
真空镀膜用“U”形真空室
本实用新型提供了一种新型真空镀膜用“U”形真空室，所述“U”形真空室包括一底板以及位于底板两侧的侧板，其特征在于：所述真空室底板及侧板之间为无缝“U”形结构。本实用新型具有结构简单、节省材料、安全性能高的特点。
真空镀膜用自降温传动轴
本实用新型提供一种真空镀膜用自降温传动轴，包括轴体，其特征在于：所述轴体其位于高温区域内的部分外侧设置有隔热装置。本实用新型具有良好的自降温作用，并结构简单、易于加工和安装，同时成本低廉。
真空镀膜箱
本实用新型公开的是真空镀膜箱。它包括箱体，该箱体为圆柱形，其顶板的下表面中心和底板上分别有探头和蒸发器，顶板与底板之间有用于放置被镀零件的支撑板。支撑板的边沿与箱体内壁间留有间距，其上有中心孔，该中心孔与探头对应且中心孔的直径大于探头。支撑板上还均布有通孔。其特点是底板上有支架，支架上有挡板，该挡板可沿支架上下移动。挡板上有中心孔，其上还均布有通孔。采用这种真空箱镀制光学薄膜，性能较好。适用于对用于光学薄膜的镀制。
用于对尚未安装锁梁的锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具
一种用于对尚未安装锁梁的锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具，包括与摆动机构连接的主架，所述主架上设有与锁梁安装孔或锁孔配合的头部朝上倾斜的支撑条，所述支撑条的尾部与主架固接。本实用新型通过单一的支撑条穿入锁孔或锁梁安装孔，使锁体相对主架固定；或者，通过两支撑条组成的支撑夹穿入锁孔和锁梁安装孔，由于初始状态的两支撑条在对应锁孔位置的水平间距大于锁梁安装孔与锁孔之间的距离，一旦支撑夹端部穿入锁孔和锁梁安装孔，支撑夹端部紧贴两孔产生摩擦固定，锁体定位方便、可靠；在真空镀膜、喷漆的同时通过主架旋转实现锁体表面全方位的镀喷，真空镀膜、喷漆效果好。
用于真空镀膜气相沉积过程基片装夹的基片架
本实用新型公开了一种用于真空镀膜气相沉积过程基片装夹的基片架，是在真空室壁有开孔，真空室外的开孔沿上安装有真空室接口法兰，波纹管上端连接在波纹管连接法兰外壁，波纹管连接法兰内套装有磁流体密封传动外轴，磁流体密封传动外轴端部连接有主动齿轮；磁流体密封传动外轴内有磁流体密封传动内轴，磁流体密封传动内轴端部连接有从动齿轮；波纹管连接法兰下端连接有悬架，悬架下方安装有加热/冷却机构，磁流体密封传动外轴下方连接有基片自转齿轮，磁流体密封传动内轴下方安装有基片支撑板；同时实现基片的转动、相对于沉积源的移动、基片的加热/冷却以及基片表面工艺气体的定位输送。
真空镀膜领域中使用的加热蒸发舟
本实用新型真空镀膜领域中使用的加热蒸发舟，属于真空镀膜领域中应用的加热器具。它是针对克服化合物蒸发材料在蒸发前、后的化学元素配比发生变化而改制的。该加热蒸发舟是由薄的耐高温金属片制成的、带有通气孔的加热片，加热片的中间部分均匀分布小孔，第二部分是带有挂槽的挂盒，在挂盒内部配备有耐高温导热差的氧化铝陶瓷内衬“坩埚”，用挂槽将挂盒挂在加热片上即可。本实用新型的优点就是结构简单、使用方便。能够较好地解决化合物蒸发材料其化学配比在蒸发后和蒸发前存在差别大的问题，使原化合物蒸发材料在蒸发成膜后达到预期的效果。
一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置
本实用新型提供了一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置，包括恒流板，与恒流板相连接的电位器，所述恒流板与电位器之间的线路上再连接一个继电器和电位器并在该继电器的线圈上接控制开关；本装置在原来控制电路的基础上，增加一个继电器和电位器，通过对新增继电器内线圈施加电压，让控制线路转换到新增的电位器上，得到一个比原电位器大得多的电流，从而使得电压很快升上去，缩短了镀膜机启靶升压时间，提高了工作效率，且整个控制电路自动升压，不易产生误差，操作方便。
对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具
一种对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具，包括与摆动机构连接的主架，主架上设有与锁芯孔或弹子孔配合的相抵定位的弹性夹。本实用新型通过两支撑条组成的弹性夹穿入锁芯孔，由于初始状态的两支撑条水平间距大于锁芯孔水平间距，一旦两支撑条的自由端穿入锁芯孔，支撑条的自由端部紧贴锁芯孔产生摩擦固定，锁体定位方便、可靠；通过两支撑条组成的弹性夹穿入弹子孔，由于初始状态的两支撑条水平间距大于两相邻弹子孔之间的距离，一旦支撑条自由端部穿入相邻的两弹子孔，支撑条的自由端部紧贴两孔产生摩擦固定，锁体定位方便、可靠；上述弹性夹也可以采用一金属条缠绕卷曲组成的结构，通过夹部与锁芯孔或弹子孔配合，达到同样的固定效果。
对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具
一种对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具，包括与摆动机构连接的主架，所述主架上设有与锁芯孔或弹子孔卡入配合的插条，所述插条的自由端朝上弯折。本实用新型通过插头弯折部卡入锁芯孔或弹子孔，通过锁体自重，使锁体相对主架固定，锁体定位方便、可靠；在真空镀膜、喷漆的同时通过主架旋转实现锁体表面全方位的镀喷，真空镀膜喷漆效果好；一次真空镀膜喷漆的锁体数量多，提高了生产效率，降低了生产成本；可根据需要布置弹性夹，适合大批量操作；结构简单、使用方便。
一种真空镀膜的加热基片架
本实用新型涉及制备种类薄膜的设备，具体地说是一种用于承载基片的真空镀膜的加热基片架，包括蒸发源、传动组件、支撑组件及步进电机磁力转轴，步进电机磁力转轴安装在支撑组件上，蒸发源设置在传动组件上、并通过传动组件与步进电机磁力转轴连动。本实用新型的基片在镀膜过程中可旋转，提高了镀膜的均匀性，保证了膜层质量；靶材和基片之间的距离可以调节，针对不同的膜材可以选择不同的距离，从而扩大了靶材的选择范围，提高了镀膜效率；蒸发源的炉盘结构简单，很好地突破了电阻丝难以固定和束缚的难点，避免电阻丝因受热变形而脱开炉盘造成短路，延长了蒸发源的使用寿命，提高了蒸发源的可靠性；基片挡板对基片起到防护作用，屏蔽了污染。
真空镀膜仿蚀刻卡
本实用新型公开了一种真空镀膜仿蚀刻卡，在塑料片基的一侧依次为胶粘层、镀有真空金属塑料膜层和油墨层，胶粘层将镀有真空金属塑料膜层与塑料片基粘合为一体。有益效果是：由于将镀有真空金属层的塑料膜裱覆在塑料片基上，使金属涂层更加均匀，在片基上采用胶印UV光固化油墨或UV仿蚀刻印刷油墨印刷，在塑料片基表面会呈现出仿金属蚀刻并晶莹剔透、疏密有致的仿金属蚀刻的艺术图案，同时使卡基面上的光泽度与牢固性普遍提高，是一种可适合不同领域用卡需求的镀有真空金属膜仿金属蚀刻艺术效果的时尚。
对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具
一种对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具，包括与摆动机构连接的主架，与所述主架相交固接的承载锁体的横杆，所述横杆上设有朝上布置的可深入锁芯孔或锁梁孔或锁孔内定位的凸部。本实用新型通过凸部深入锁芯孔或锁梁孔或锁孔内，使锁体相对主架固定，锁体定位方便、可靠；凸部结构可以根据实际情况设计，适用性强长方柱的上端部设有与锁体相吸的磁性件，定位更平稳、可靠；在真空镀膜、喷漆的同时通过主架旋转实现锁体表面全方位的镀喷，真空镀膜喷漆效果好。
对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具
一种对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具，包括与摆动机构连接的主架，所述主架上设有与锁体上钥匙孔配合的钥匙模型。本实用新型通过钥匙模型安装在钥匙孔内使锁体相对主架固定，锁体定位方便、可靠；在真空镀膜、喷漆的同时通过主架旋转实现锁体表面全方位的镀喷，真空镀膜喷漆效果好；一次真空镀膜喷漆的锁体数量多，提高了生产效率，降低了生产成本；可根据需要布置钥匙模型，适合大批量操作；结构简单、使用方便。
对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具
一种对锁体进行真空镀膜、喷漆的夹具，包括与摆动机构连接的主架，所述主架上设有朝上布置的可深入锁芯孔或锁梁孔或锁孔内定位的凸部。本实用新型通过凸部深入锁芯孔或锁梁孔或锁孔内，使锁体相对主架固定，锁体定位方便、可靠；凸部结构可以根据实际情况设计，适用性强；长方柱的上端部设有与锁体相吸的磁性件，定位更平稳、可靠；在真空镀膜、喷漆的同时通过主架旋转实现锁体表面全方位的镀喷，真空镀膜喷漆效果好。
一种平面真空镀膜成图玻璃工艺品
本实用新型公开了一种平面真空镀膜成图玻璃工艺品，其包括一透明玻璃胚体，其特征在于，在所述玻璃胚体的构成中至少包括一平面，且该平面上设有镀膜层，该镀膜层上设有镂空图案。由于本实用新型的玻璃胚体采用了若干平面构成，且直接在镀膜层上镂空图案，且其图案精度高，审美效果好；当其为灯杯时，在其内部放入点燃的蜡烛后，光线可从该镂空图案中射出，并在各图案层之间、及各图案层与胚体玻璃之间，形成多重反射或折射，从而达到立体感、层次感强并具有一定变化的艺术表现效果；并且，本实用新型结构简单、耐用，在其镀膜层上其形成的图案层外有保护层的保护，不易变形或损坏。
一种真空镀膜成图烛台
本实用新型公开了一种真空镀膜成图烛台，其包括一杯状玻璃胚体，其特征在于，所述玻璃胚体的外表面为一首尾相接的环形曲面，在该表面上，设有一首尾相接并置有镂空图案的镀膜层；在其内表面上，也设有一首尾相接并置有镂空图案的镀膜层；所述的胚体杯壁中内置有一镂空图案的夹层。由于本实用新型采用了镀膜镂空成图结构，直接在镀膜层上获得图案，且其图案精度高，在放入点燃的蜡烛后，光线从图案中射出，各图案层因之间、及各图案层与胚体玻璃之间，形成多重反射或折射，从而达到立体感、层次感强并具有一定变化的艺术表现效果；并且，本实用新型结构简单、耐用，在表面上其形成的图案层有保护层的保护，不易变形或损坏。
真空镀膜机的工件三维转动支架
本实用新型主要涉及一种真空镀膜机的工件三维转动支架，包括有动力输入轴(1-1)、公转盘支撑座(1-2)、公转转动轴承(1-3)、公转盘转动连接盘(1-4)、公转盘(1-5)，在公转盘(1-5)上设有工件转盘支撑杆(13)，工件转盘支撑杆(13)上方设有上支架(14)，工件杆(4)通过转动支撑座(15)与上支架(14)连接，工件杆(4)上设置有工件旋转轴(11)，其特点是在公转盘(1-5)上设有工件自转和工件旋转机构，公转盘转动连接盘(1-4)与自转齿轮盘(2-2)固连。本实用新型可实现工件在真空环境中公转、公转+旋转、公转+自转、公转+自转+旋转四种不同状态的运动效果，具备灵活性、多样性，提高镀膜质量和生产效率。
一种VFD双面真空镀膜设备的挡板机构
一种VFD双面真空镀膜设备的挡板机构，包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板的上端和下端均安装在波纹管上，所述第二挡板的上端和下端均安装在波纹管上，波纹管具有密闭腔，密闭腔内设有拉簧，并且密闭腔与压缩气体进气管连通。由于波纹管具有伸缩能力，因此无需胶圈作为滑动密封，故跟机构可达到无泄露效果。
一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机构
一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机构，包括挡板，所述挡板由数条并排的条形不锈钢带组成，每条不锈钢带的下端均挂设有拉簧。使用时，拉簧的另一端钩设在镀膜设备上固定，使拉簧具有一定的预先拉力，带预拉力的条形不锈钢带可以补偿挡板长度方向上的受热变形。而并置五条条形不锈钢带则可用以补偿挡板宽度方向上的温度差。
磁控溅射与多弧离子镀复合式真空镀膜机
一种磁控溅射与多弧离子镀复合式真空镀膜机，包括真空镀膜室、真空系统、电源系统、气动系统、供气系统、冷却系统、驱动系统、控制与测试系统和警报系统，其特征在于真空室体内顶部装有工件架行星传动转盘，转盘下接悬挂式工件架，真空室体上部的工件架驱动机构使工件架在公转的同时还自转；其真空室体壁上安装磁控溅射镍靶和电弧镀铬靶两种靶，本实用新型能够实现被镀工件一次装炉完成镀制镍、铬两种膜层。
一种多仓组合式量产真空镀膜系统
本实用新型公开一种多仓组合式真空镀膜系统，总体采用组合式多真空仓结构，其中至少包括2个或2个以上的真空仓，每一真空仓至少可以进行镀膜或辅助处理，所述的各镀膜仓中至少有一个仓中的工件可沿环形轨道连续运行多圈镀厚膜；各辅助处理仓可以实现镀膜之外的各种辅助处理；在相邻真空仓之间有自动真空闸门控制流程；一种柔性输送带在真空条件下沿导轨运行，自动交换或输送工件，保证了实施大批量镀膜生产线的需要。
渐层薄膜厚度的真空镀膜装置
本实用新型是一种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其是包含一溅镀腔体、一传动系统以及一溅镀源，所述的传动系统设置在所述的溅镀腔体的内部并包含一载具，所述的载具是可在所述的溅镀腔体的内部直线前进，所述的载具的顶面设有至少一个支撑件，所述的至少一个支撑件设有一固持部，所述的溅镀源设置在所述的溅镀腔体的内部一侧，其具有一靶材料，所述的靶材料表面与所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是呈一不等距离的配置，如此当固持部夹持固定一被镀物以进行镀覆靶材料时，可在被镀物表面形成厚度不一致渐层薄膜。
一种双端多室真空镀膜装置
一种双端多室真空镀膜装置，包括镀膜室、真空预备室和工件架车，在真空预备室的边侧部设有工件装卸台，真空预备室内设有两条工件架车转运轨道，在真空预备室的左右两端各连接有至少一个镀膜室，在所述的镀膜室内设有环形轨道，环形轨道分别通过轨道切换机构与工件架车转运轨道对接，工件装卸台设有“U”形传输轨道，“U”形传输轨道的两端与两条工件架车转运轨道横向相交，在相交处设有变轨装置和轨道槽，真空预备室与镀膜室和工件装卸台之间分别设有真空锁和门阀，真空预备室和镀膜室都与抽真空系统相连接。借助中间的真空预备室，可实现单机节拍式真空镀膜。在生产过程中镀膜室不暴露大气，缩短了生产周期，提高了生产效率，提高了膜层质量。
真空镀膜设备
本实用新型提供的真空镀膜设备，有真空室[1]，真空室内安装有工件架[6]，真空室上有供工件进出的门[2]，所说门设置在真空室顶部。本实用新型提供的真空镀膜设备，将供工件进出的门设置在真空室的顶盖上，使工件可以从顶部单根吊装到工件架上。即工件是从顶部吊入并装到工件架上的，与现有技术相比，本实用新型克服了工件进出时大型工件进出无法应用吊装工具或不能单根吊装的不足。
无夹痕真空镀膜装置
本实用新型是一种无夹痕真空镀膜装置，是以真空镀膜炉中设一转轮装置，其中以二环状轮盘，含设复数个金属网状管体，以容纳被镀物；当被镀物装入网状管体后，前后端以环状盖片套接后封闭，并在盖片前端的横杆上套入弹簧后穿过环状轮盘的透孔后，再由扣件穿入横杆的孔洞形成闩紧固定在环状轮盘，而在所述的炉床运作时，凭借转轴带动整体转轮旋转，并由网状管体内无固定、无遮敝效应，而使被镀物可以完全滚动，以各层面均可以匀称的承受离子风，进而可以使得被镀物表面完全镀膜，因其无夹子夹持等遮蔽效应，得以充分镀膜，而产生无夹痕的完美镀膜效果。
真空镀膜靶材
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