1、MEMS高线性电容式压力传感器检测电路的设计与优化
基于MEMS技术的电容式压力传感器具有高稳定性和高灵敏度,其结构简单坚固,能实现良好的线性度。项目组基于MEMS技术设计研制了一种新型高线性电容式压力传感器,可实现良好的线性度和灵敏度。微电容式压力传感器在微机电系统中起着检测和转变各种非电量信号的作用,它必须具有良好的稳定性和灵敏度。其中检测得来的非电量信号在转化成微电量信号后,其微电量信号的读取成为了重要环节。因此微电容传感器接口电路的设计具有十分重要的实际应用的意义,也是整个微机电系统的重点之一。本文详细介绍了用于微电容检测的五种方法,并比较了它们的优缺点,根据采集信号的准确性和抗干扰性选择了采用开关电容法和电容-频率转化电路两种方法,作为上述新型高线性电容式压力传感器接口电路的形
2、MEMS硅谐振式压力传感器设计
提出一种基于静电激励/电容检测的硅谐振式压力传感器，采用谐振梁和感压薄膜的复合结构作为传感器的敏感结构，对该敏感结构进行理论分析和建模，通过仿真计算，得到了敏感结构在一个大气压下的位移分布和应力分布，谐振频率随压力变化的关系曲线，以及谐振梁最大位移与激励电压的关系曲线。分析比较仿真结果，选择长方形膜作为感压薄膜，确定了谐振梁与感压薄膜的相对位置，得到敏感结构最优尺寸和激励电压的极限值，该敏感结构谐振频率约为19 kHz，灵敏度为149.37 Hz/kpa，激励电压最大不超过42.5 V。在此敏感结构基础上建立了传感器的三层硅结构模型，并进行工艺设计:采用电阻率为0.005Ω*cm的高掺杂硅片来制作该传感器;用氮化硅来作为掩膜，湿法腐蚀和干法腐蚀相结合
3、MEMS加速度传感器及其调理电路测试技术研究
主要内容包括：⑴MEMS加速度传感器的重力场标定:以二阶非线性系数最小为标准对MEMS加速度传感器进行了重力场标定,并测试了加速度传感器的静态偏差、灵敏度和灵敏度温度系数。⑵MEMS加速度传感器系统噪声测试:分别测试了模拟闭环加速度传感器和数字闭环加速度传感器的系统噪声,测试模拟闭环加速度传感器系统噪声时采用放大噪声的方法提高了测试的准确性。⑶MEMS加速度传感器参考电压噪声测试及改进:分析了数字加速度传感器的噪声源,用计算和仿真的方法证实MEMS器件的布朗噪声和量化噪声不是主要噪声源。提出了测试极低电压噪声的方案,并对ASIC中的参考电压进行了噪声测试。用滤波的方法降低了参考电压噪声,并进行系统噪声测试,从而证实了参考电压噪声是数字加速度传
4、MEMS谐振式电荷传感器
提出了一种带有柔性微杠杆的MEMS谐振式电荷传感器,包括理论分析、仿真优化、加工和实验验证。传感器基于DETF谐振器,谐振器工作在反向谐振模态,通过电容进行驱动和感应,在室温和40 mTorr的真空度下,测得谐振频率为139 kHz, Q值大于4900。引入柔性微杠杆的目的在于放大输入力,从而增大电荷传感器的灵敏度,通过理论和有限元仿真分析,得到柔性微杠杆的放大倍数大于8。电荷输入极板与微杠杆的输入端偶合成电容,当在电荷输入极板施加电荷时,电容极板间产生静电力,经过微杠杆的放大和变向后压在DETF的梁上,导致梁刚度的减小,从而引起谐振频率的下降。电荷的输入量与谐振频率的变化量之间呈二次方关系,灵敏度为1.3×10-3 Hz/fC2,分辨率为21fC。试验结果证明,引入的两柔
5、MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究
利用膜的应力形变等力学、电学知识、压阻效应、大（小）挠度理论、惠斯通电桥等相关知识设计了硅基压阻式压力传感器薄膜与电阻结构尺寸及布置方式。对传感器结构进行ANSYS静态仿真，为了获得较大输出，得到力学性能好的弹性结构，通过改变一些结构几何参数，得出其对输出电压的影响。输出电压越大，传感器灵敏度越高。根据灵敏度及制造工艺的难易程度选择最佳参数值，根据理论计算尺寸，设计传感器掩膜版图，结合微加工工艺及实验室具体条件，设计传感器制备流程，为下一步的加工制作奠定基础。分析了硅基电容式压力传感器的工作原理，利用ANSYS软件分析电容式压力传感器的应力及挠度变化，从传感器的硅材料特性、灵敏度、线性度和温度特性等方面分析其性能，结合微
6、硅基MEMS压电式振动能量采集器设计制造及其性能研究
设计了一种低频压电d31模式的八悬臂梁-中心质量块结构MEMS振动能量采集器，实现将环境中的振动能量向电性能的转换。在每个悬臂梁上都异质集成制备PZT压电功能厚膜层，将所加工制造成的16个PZT压电敏感单元相串联增加了压电发电能量，提高了系统的总体输出电压、机电转化效率、输出功率及输出功率密度；同时，八悬臂梁-中心质量块结构的一阶谐振频率较低，与环境机械振动极易产生共振，更易于产生高密度的电能量。本文硅基MEMS压电式振动能量采集器的研究工作为可再生微能源研究提供了一种新的思路。本文揭示振动驱动下PZT压电功能材料的机电转换效应机理；构建八悬臂梁-中心质量块基础结构压电式力-电转化模型，通过理论计算及MATLAB软件分析器件八悬臂梁-中心质量
7、基于MEMS的MIMU及其数据融合技术研究
通过对微机电陀螺产品进行误差分析和建模，在此基础上，重点研究了由多个微机电陀螺通过小波分解、加权构成的单轴组合微机电陀螺，从而提出一种多尺度数据融合模型，即从应用的角度对微机电惯性器件进行误差分析及补偿，以达到提高系统测量精度的目的。因此，本文研究了微机电陀螺的误差分析、建模和补偿，以及在小波域中多尺度多传感器数据融合技术的应用。主要研究内容包括以下几个方面：(1)以不同类型陀螺仪的不同工作机理来对产生的噪声进行研究，建立不同的噪声 模型。详细论述了微机电陀螺的确定性误差模型和随机误差模型，以及相应的模型建立方法，着重分析了随机误差建模方法中的时间序列分析法和阿伦方差技术。针对某型号微机电陀螺，分别利用时间序列分
8、基于MEMS的高精度姿态检测系统设计
基于MEMS的姿态检测系统是一种新型惯性测量设备，能够实时提供载体横摇、纵摇和航向等姿态信息，具有成本低、体积小、功耗低、便携性好等优势。因此，近几年在生活、生产中都得到广泛应用。但是相比基于光学传感器的姿态检测系统精度较低，难以应用在船舶、飞行器等领域应用。然而，通过提高MEMS器件机械结构精准度的方法来提高测量精度难以实现。因此，通过软件进行误差补偿，提高器件使用精度是急需解决的问题。另外，扩展系统数据通信功能，保证系统在实际应用中的便捷性，也是值得关注的问题。本文针对姿态检测系统中MEMS器件误差补偿、系统姿态解算算法、硬件电路及软件程序四方面展开设计。论文的主要工作如下:首先，介绍课题研究的目的与意义
9、基于MEMS技术的压力传感器研究
微型压力传感器是在微机电系统领域最早开始研究并且产业化的微机电器件之一。本文基于压阻效应、惠斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微型压力传感器,并在研究相关微加工工艺的基础上制作这种传感器的工艺流程,最终成功制作了传感器芯片,并利用测试系统检测出了随压力变化而发生变化的微电压信号。主要内容如下：(1)利用压阻效应、大(小)挠度理论、膜的应力形变等力学、电学知识设计压阻式微压力传感器。用弹性力学和板壳力学理论分析了半导体硅压阻式压力传感器方形膜片的受力分布,为力敏电阻在应变膜上的布置提供依据。分析了影响压力传感器性能的各种因数,提出了一种应力集中硅梁加E型硅杯结构传感器设计方案,利用有限元分析方法和借助ANSYS仿真软件,对传感
10、基于MEMS运动传感器的姿态检测系统设计
设计了基于MEMS运动传感器的姿态检测系统，采用微控制器STM32和MEMS加速度计，来测量、存储、显示、分析运动姿态。本文具体设计了系统的硬件、嵌入式软件、上位机分析软件。该系统硬件主要包括基于ARM内核的STM32微控制器单元，三轴加速度计MPU6000传感器单元，电源和调试单元。软件主要包括STM32片上外设驱动软件，MPU6000传感器驱动软件，数字滤波器。上位机软件用C语言开发，运用NI公司的虚拟仪器平台Labwindows/CVI做集成开发环境。做到将硬件与软件相结合，突出电子与通信工程学科的工程特性，同时在算法研究上有所深入和展开。本文最终实现了对系统运动曲线的采集、测量、显示和存储。同时进行测量数据的分析，拥有较高的精度，且用户界面良好
11、基于叉指电极的MEMS环境监测传感器关键技术研究
12、基于硅晶圆键合的MEMS电容超声传感器研究
13、基于信息融合理论的多MEMS惯性传感器数据处理方法研究
14、聚合物MEMS电流传感器的研究
15、微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器研究
16、微机电系统器件设计综合与优化方法研究
17、微机电系统微传感器的结构分析和优化研究
18、一种MEMS数字压力传感器的设计
19、200510010591.1A 用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置 1-6
20、200510010592.6A MEMS高温压力传感器自动键合机 1-9
21、200510011395.6A MEMS压力传感器芯片级老化装置 1-5
22、200510011463.9A 热扩散压阻式MEMS压力传感器芯片级老化方法 1-5
23、200510026606.3A 基于微机电系统的巨磁阻抗效应磁敏器件 1-8
24、200510026607.8A 基于微机电系统的巨磁阻抗效应磁敏器件的制作方法 1-8
25、200510035114.0A 电容式微机电结构声音传感器 1-12
26、200510043354.5A 一种电容式MEMS加速度传感器 1-6
27、200510043987.6A MEMS加速度地震传感器 1-6
28、200510057273.0A 一种MEMS传感器悬梁结构的制造方法 1-10
29、200510066344.3A 电容差检测电路和微机电系统传感器 1-40
30、200510087698.6A 微机电系统中求系综平均值的传感器重复系统和方法 1-32
31、200520070761.0A 光纤微机电系统压力传感器封装结构 1-7
32、200520082496.8A 一种电容式MEMS加速度传感器 1-6
33、200520085090.5A MEMS加速度地震传感器 1-6
34、200580014710.9A 带有MEMS结构和具有确定截面的被填充的隔离沟槽的SOI圆片 1-15
35、200580021247.0A 用于进行无线接收和发射的基于MEMS的可调天线 1-13
36、200580022337.1A 在闭环操作中微机电系统反射镜的稳定性 1-16
37、200580022612.A 基于MEMS的车库门传感器 1-15
38、200580039844.6A 可复位的闩锁MEMS震动传感器装置和方法 1-22
39、200580040048.4A 用于安全应用的MEMS传感器单元 1-10
40、200580042137.2A 利用磁致伸缩效应的可变电感型MEMS压力传感器 1-17
41、200610009745.A MEMS高温压力传感器自动键合方法 1-10
42、200610011906.9A 一种扭摆式硅MEMS角加速度传感器 1-10
43、200610023449.5A 具有自动复位系统的逐位鉴别可多次试开的MEMS强链 1-12
44、200610081592.A 高精度微机电组合惯导装置 1-8
45、200610114435.4A MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置 1-15
46、200610114437.3A 平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置 1-12
47、200610114486.7A 一种可去除残余硅的体硅MEMS与CMOS电路集成的方法 1-13
48、200610125600.6A 一种基于MEMS的智能服装及其制作方法 1-13
49、200610150675.A MEMS传感器的驱动装置及其驱动方法、使用MEMS的有源传感器 1-24
50、200680020132.4A 低电压MEMS振荡器 1-31
51、200680042876.6A 用于利用微机电系统（MEMS）或其他传感器进行井下流体分析的装置 1-24
52、200680043980.7A 制造微机电元件的方法以及该微机电元件 1-65
53、200680044020.2A 制造微机电元件的方法以及该微机电元件 1-62
54、200710076041.9A 微机电压力传感器 1-13
55、200710086046.A 用于减小MEMS器件上的薄膜应力的隔离方案 1-10
56、200710097874.3A 弯曲压电式氧化锌纳米棒微电机(MEMS)振动传感器 1-8
57、200710098681.A 一种基于微机电技术的硅压阻式风速风向传感器 1-9
58、200710303888.6A MEMS光谱气敏传感器 1-18
59、200720068252.3A 微机电声学传感器的封装结构 1-12
60、200720141680.4A 矿用隔爆兼本安型触摸屏微机电控柜 1-11
61、200780017871.2A 具有单晶硅电极的电容性微机电传感器 1-19
62、200810001920.A 用于校准基于微机电系统的传感器的方法和系统 1-25
63、200810012819.4A 基于MEMS传感器的插入式流量测量装置 1-6
64、200810012820.7A 基于MEMS异径管流量传感器的液压系统功率测量装置 1-6
65、200810012822.6A 基于MEMS传感器的V锥流量测量装置 1-7
66、200810012823.0A 基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置 1-7
67、200810012824.5A 基于MEMS插入式流量传感器的液压系统功率测量装置 1-6
68、200810019520.1A 基于MEMS技术微型动态压力传感器及其制造方法 1-10
69、200810022319.9A 一种微机电系统磁场传感器及测量方法 1-9
70、200810112278.2A 基于MEMS技术的聚吡咯微型超级电容器及其制造方法 1-12
71、200810130027.7A MEMS传感器和硅话筒 1-50
72、200810130036.6A MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 1-35
73、200810176200.7A 具有基于微机电系统的切换的可编程逻辑控制器 1-28
74、200880003036.8A 包括差动传感器MEMS器件和带孔衬底的电子器件 1-20
75、200880101744.5A 具有MEMS惯性感测及内置数字电子元件的集成式移动处理单元(MPU) 1-25
76、200880102146.A 导电纳米膜及使用该导电纳米膜的微机电系统传感器 1-15
77、200880118427.4A 具有集成保护性流槽的耐用MEMS流量裸片 1-7
78、200880121779.5A 用于流量传感器的MEMS结构 1-10
79、200910007884.2A 微机电传感器与制作方法 1-8
80、200910029903.1A 谐振式微机电系统磁场传感器及测量方法 1-9
81、200910045618.9A 一种微机电系统热式流量计 1-7
82、200910046099.8A 微机电系统的微型化磁通门传感器 1-9
83、200910056996.7A 一种超小型MEMS陀螺仪传感器的制造方法 1-9
84、200910060555.4A 一种高深宽比碳微机电器件的制备方法 1-19
85、200910073993.4A 微机电矢量水听器 1-10
86、200910077171.3A MEMS水平谐振式磁强计 1-12
87、200910080060.8A CMOS MEMS兼容光谱式气敏传感器 1-7
88、200910087344.A 基于阵列波导分光的红外光谱式MEMS气敏传感器 1-10
89、200910131270.5A MEMS水平谐振式磁强计 1-12
90、200910151529.2A 微机电声学传感器封装结构 1-14
91、200910164862.7A 基于MEMS加速度计的无线地震警报 1-18
92、200910189390.0A 基于复合MEMS传感器的控制器指针定位方法及控制器 1-16
93、200910219368.6A 基于微机电系统技术的粘度传感器芯片及其制备方法 1-9
94、200910219371.8A 基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法 1-8
95、200910253761.7A 适用于微机电传感器的质量体与使用该质量体的三轴微机电传感器 1-15
96、200910265656.5A 微机电系统传感器及微机电系统传感器的制造方法 1-31
97、200980112796.7A 用于微机电系统传感器的弹性构件 1-12
98、200980129711.6A 封装MEMS-晶片的方法和MEMS-晶片 1-13
99、200980132226.4A 生物微机电系统传感器、设备及其方法 1-65
100、200980133397.9A 压电MEMS麦克风 1-42
101、200980137265.3A MEMS传感器 1-22
102、200980151747.4A 用于地震采集系统的基于MEMS的电容传感器 1-13
103、201010114598.9A 一种MEMS光谱仪运动补偿系统及方法 1-8
104、201010127112.5A 一种基于MEMS传感器的脉象诊断分析仪 1-10
105、201010134017.8A 微机电传感器、其制造方法以及电子设备 1-73
106、201010142181.3A MEMS传感器 1-25
107、201010145221.A 一种MEMS红外发射式气敏传感器 1-7
108、201010157527.7A 多通道滤波阵列MEMS光谱式气敏传感器 1-8
109、201010178083.5A 压电双晶片式MEMS能量采集器及其制备方法 1-9
110、201010180084.3A 微机电系统中压阻式压力传感器多晶硅横隔膜及形成方法 1-8
111、201010180708.1A MEMS传感器、电子设备 1-30
112、201010186557.0A MEMS压敏传感器件的制作方法 1-7
113、201010198622.1A MEMS加速度传感器 1-7
114、201010200237.6A MEMS微传感器的封装结构及其制造方法 1-13
115、201010200713.4A 惯性微机电传感器及其制造方法 1-16
116、201010201922.0A 基于复合MEMS传感器的控制器及其手势控制按键方法 1-14
117、201010203623.0A 带温度测量的微机电动机保护监控装置 1-5
118、201010204606.9A 具有红外线聚焦功能的MEMS红外传感器的封装方法 1-12
119、201010210817.3A MEMS传感器在应用环境下使用可靠度的确定方法 1-7
120、201010221456.2A 一种具有多个共面电极一体结构的MEMS加速度传感器及其制造方法 1-24
121、201010223806.9A MEMS悬臂梁式在线微波功率传感器及其制备方法 1-11
122、201010223810.5A MEMS固支梁式在线微波功率传感器及其制备方法 1-11
123、201010224028.5A 集成微机电系统(MEMS)传感器设备 1-9
124、201010225265.3A MEMS传感器、硅麦克风以及压力传感器 1-38
125、201010228032.9A 一种MEMS复合微能源系统电源 1-9
126、201010239779.4A GNSS辅助MEMS惯性传感器零偏的快速在线动态标定方法 1-9
127、201010261039.0A MEMS传感器及制造方法及薄膜、质量块与悬臂梁的制造方法 1-24
128、201010288795.2A 一种微机电电容式角速度传感器及其制作方法 1-17
129、201010289314.A 可同时量测加速度及压力的微机电传感器 1-21
130、201010501549.0A 矩形硅薄膜微机电压力传感器 1-5
131、201010501581.9A 圆形硅薄膜微机电压力传感器 1-5
132、201010512735.4A MEMS压力传感器 1-16
133、201010522825.1A 基于MEMS的小波域多传感器信息融合系统及融合方法 1-10
134、201010522858.6A 一种复合式MEMS耐高温超高压力传感器 1-9
135、201010537800.9A 一种单片集成SiC MEMS压力传感器及其制备方法 1-14
136、201010554883.2A MEMS陀螺仪及其芯片级温控方法和加工方法 1-11
137、201010568976.0A MEMS数字地震检波器 1-7
138、201010572268.4A 基于硅MEMS敏感结构融合光学检测技术的微光机电传感器及其应用方法 1-9
139、201010608170.A 惯性微机电传感器及其制作方法 1-34
140、201010609237.1A 使用芯片互连层的振动MEMS谐振器的热传感器 1-17
141、201010609247.5A 基于RTS的MEMS面内高g加速度传感器 1-6
142、201010615928.2A 时分复用微机电系统块状流体传感器及其工作方法 1-8
143、201010618301.2A 微机电传感器的形成方法 1-17
144、201010621888.2A MEMS筒式耐高温超高压力传感器 1-6
145、201010624005.3A 一种基于MEMS的机床主轴动刚度的测试方法 1-5
146、201020229604.0A 带温度测量的微机电动机保护监控装置 1-5
147、201020537141.4A 一种带无线温度测量的微机电动机保护监控装置 1-5
148、201020554710.6A 基于热损失工作方式的矩形硅薄膜微机电压力传感器 1-5
149、201020554752.A 基于热损失工作方式的圆形硅薄膜微机电压力传感器 1-6
150、201020619527.A MEMS陀螺仪 1-11
151、201080001885.7A 用于微机电系统传感器的微机电系统应力集中结构 1-28
152、201080006322.7A MEMS装置和利用该MEMS装置的远程传感系统 1-20
153、201080009206.0A 微机电传感器 1-10
154、201080009207.5A 用于测定绕x轴、y轴和 或z轴的旋转运动的MEMS陀螺仪 1-11
155、201080012253.0A 驱动频率可调的MEMS陀螺仪 1-12
156、201080012403.8A 垂直集成的MEMS加速度变换器 1-22
157、201080014830.A 一种用于检测加速度和旋转速度的方法及微机电传感器 1-16
158、201080049817.8A 光学MEMS装置和利用该光学MEMS装置的远程传感系统 1-12
159、201110003525.7A 用于三明治结构MEMS硅电容压力传感器侧墙保护方法 1-7
160、201110061167.5A MEMS压力传感器及其制作方法 1-22
161、201110061170.7A MEMS麦克风与压力集成传感器及其制作方法 1-21
162、201110061456.5A MEMS压力传感器及其制作方法 1-18
163、201110061564.2A 集成MEMS器件及其形成方法 1-54
164、201110061571.2A MEMS惯性传感器及其形成方法 1-28
165、201110076365.9A 基于MEMS加速度计的玻窗清洁装置 1-10
166、201110083195.7A 一种压电厚膜驱动的横向MEMS微驱动器及其制作方法 1-8
167、201110096133.A 微机电传感器装置 1-15
168、201110124562.3A 微机电磁传感器 1-15
169、201110129031.3A SAW-MEMS加速度传感器及制作方法 1-11
170、201110129992.4A 微机电传感器及其形成方法 1-34
171、201110135422.6A 包含非对称生物活性区的微机电磁性生物传感器 1-12
172、201110136061.7A 微机电磁性生物传感器 1-14
173、201110145926.6A 一种MEMS微加速度传感器及其应用 1-6
174、201110156059.6A 具有双惠斯通全桥结构的MEMS流体密度传感器芯片及制备方法 1-9
175、201110161493.3A 弹性梁及包括其的MEMS传感器 1-9
176、201110173243.1A MEMS高量程加速度传感器的封装方法 1-7
177、201110180191.0A 基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器 1-9
178、201110185811.A MEMS模拟检波器机芯 1-8
179、201110230498.7A 一种MEMS压阻式拉压力芯片及传感器的制作方法 1-10
180、201110240721.6A MEMS压力传感器件及其制造方法 1-15
181、201110279033.0A 基于MEMS技术的无线传输可植入对称结构压力传感器 1-9
182、201110306760.1A 一种改进的微机电系统平台圆片级封装结构 1-14
183、201110350814.4A 基于声光效应的MEMS微型加速度传感器 1-8
184、201110351674.2A 玻璃管与MEMS芯片气密性烧结装置 1-9
185、201110366771.9A 一种新型MEMS仿生声矢量传感器及其加工方法 1-7
186、201110396888.1A 三维微机电传感器 1-16
187、201110401838.8A 一种基于MEMS技术的热扩散率传感器芯片及其制备方法 1-8
188、201110426205.2A 微机电的元件以及用于制造这样的微机电的元件的方法 1-7
189、201110430329.8A 一种测量相变存储器应力的MEMS传感器及其制备工艺 1-10
190、201110443149.3A MEMS热式流量传感器 1-5
191、201110456815.7A 具有线性驱动 拾取的MEMS垂直梳状结构 1-10
192、201110461891.7A 使用多层能移动梳状物的MEMS传感器 1-11
193、201120158944.3A SAW-MEMS加速度传感器 1-11
194、201120160329.6A 微机电传感器 1-29
195、201120232969.3A MEMS模拟检波器机芯 1-8
196、201120244770.2A 一种微机电热导式低浓甲烷气体传感器 1-5
197、201120247782.0A 一种电容式MEMS压力传感器 1-6
198、201120526370.0A 一种基于MEMS加速度计的便携式倾角传感器 1-6
199、201180001066.7A 感测旋转及加速度两者的微机电系统装置 1-12
200、201180005859.6A 微机电半导体器件传感器 1-57
201、201180013009.0A MEMS传感器 1-13
202、201180014988.1A 利用改进惯性元件的微机电磁场传感器 1-21
203、201180025546.7A 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 1-61
204、201180025550.3A 平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法 1-62
205、201180025557.5A 微机电系统结构 1-62
206、201180033351.7A 微机电系统可变电容器 1-12
207、201180040794.9A 基于压电的微机电透镜致动系统 1-25
208、201180044268.XA 用于惯性微机电系统的抗粘合方法、对应的计算机程序产品、存储构件和装置 1-16
209、201180052871.2A 用于测量力的微机电传感器以及对应的方法 1-12
210、201180055029.4A 包括参考电容器的微机电压力传感器 1-26
211、201180055792.7A 用于微机电系统的密封封装 1-49
212、201180055794.6A 减小微机电系统上的应力的封装 1-49
213、201180063358.3A 微型化的集成微机电系统(MEMS)光学传感器阵列 1-35
214、201180067186.7A 包括凸点下金属化层的微机电系统器件 1-8
215、201180071239.2A MEMS传感器的校准 1-13
216、201210001068.2A 一种电容式微机电超声传感器及其制作方法 1-20
217、201210001354.9A 带弯曲聚焦的电容式微机电超声传感器的制作方法 1-15
218、201210016318.A MEMS质量流量传感器 1-7
219、201210017188.1A 具有折叠扭力弹簧的MEMS传感器 1-11
220、201210017521.9A 具有双检验块的MEMS传感器 1-12
221、201210018690.4A 基于MEMS技术的阵列式气味检测元件 1-6
222、201210037475.9A 一种电热式MEMS微镜系统 1-8
223、201210043148.4A 多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统 1-8
224、201210050586.3A 基于柔性MEMS技术的三维流体应力传感器及其阵列 1-10
225、201210051847.3A 基于寄生电容调节的高精度温度补偿MEMS振荡器 1-9
226、201210060600.8A MEMS麦克风电路、上位机电路以及进入编程模式的方法 1-7
227、201210061933.2A 微机电系统压力传感器的制作方法 1-12
228、201210065676.XA 微机电系统装置及其制造方法 1-57
229、201210071272.1A 基于石墨烯的MEMS声学传感器 1-13
230、201210071296.7A 一种MEMS惯性传感器结构压膜阻尼可调装置 1-10
231、201210081249.0A 一种基于MEMS加工工艺的柱面电容传感器 1-8
232、201210088346.2A 微机电元件、出平面传感器与微机电元件制作方法 1-14
233、201210100748.A 新型CMOS-MEMS兼容的非制冷红外传感器晶圆级封装方法 1-7
234、201210126237.5A 一种复合式MEMS密度传感器 1-10
235、201210129066.1A 一种具有振荡模块的微机电系统装置 1-44
236、201210164461.3A 单片集成MEMS压阻超声传感器 1-14
237、201210177427.XA 具有多记录监控单元的微机电数字检波器采集系统与方法 1-20
238、201210201507.4A 一种用于微机电地震采集系统的同步系统与方法 1-17
239、201210219253.9A 微机电系统双稳态光学开关及其使用方法 1-18
240、201210234964.3A 微机电系统薄片及其制备方法 1-8
241、201210248876.9A 微机电系统器件剖面形貌分析样品的制备方法 1-8
242、201210252362.0A 基于多MEMS传感器的动态载体姿态测量系统及方法 1-20
243、201210258994.8A 基于微机电开关（MEMS）的过电流电机保护系统 1-10
244、201210277332.5A 一种具有嵌入式织物材料防护屏的微机电系统传声器 1-9
245、201210280768.XA MEMS传感器中的多层NONON膜 1-14
246、201210329954.8A 一种电容式MEMS传感器的检测电路 1-11
247、201210359507.7A 光子微机电系统和结构 1-57
248、201210378123.XA 集成MEMS传感器的晶圆级封装结构及其晶圆级封装方法 1-21
249、201210385131.7A 具有非传导感测质量体的微机电传感器和通过微机电传感器感测的方法 1-14
250、201210397799.3A 制造提供气隙控制的微机电系统装置的方法 1-38
251、201210407127.6A 一种基于微机电系统的自动对焦镜头 1-11
252、201210410042.3A 一种基于 MEMS 传感器的运动跟踪系统及方法 1-13
253、201210424689.1A 微机电声学传感器封装结构 1-9
254、201210428317.6A 一种基于微机电系统的微透镜 1-12
255、201210469696.3A 微机电系统器件的制造方法 1-17
256、201210509962.0A 平面磨床的微机电液比例调速系统 1-4
257、201210546068.0A 一种微机电系统电导率传感器的接口电路 1-10
258、201210564072.XA 微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统 1-28
259、201210564075.3A 微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统 1-32
260、201210568564.6A 使用具有非平坦部分的背板保护微机电系统阵列的系统和方法 1-34
261、201210579786.8A 微机电系统 1-9
262、201210585811.3A 一种微机电六轴惯性传感器 1-29
263、201280009647.XA 基于微机电系统的热量计及有关制造和应用 1-36
264、201280013178.9A 包括金属检验质量块和压电组件的微机电系统设备 1-24
265、201280015633.9A 加强的微机电系统装置及其制造方法 1-22
266、201280026057.8A 微机电系统(MEMS)及相关致动器凸块、制造方法和设计结构 1-38
267、201280026455.XA 微机电系统（MEMS）以及相关的致动器凸块、制造方法和设计结构 1-36
268、201280054437.2A 通风微机电系统装置和制造方法 1-9
269、201280055218.6A MEMS传感器封装及其方法 1-11
270、201280060142.6A 微机电系统芯片尺寸封装 1-16
271、201280068442.9A 用于补偿抖动的微机电系统装置和设备 1-12
272、201280071504.1A 射频微机电系统(MEMS)的电容式开关 1-19
273、201310001397.1A 微机电系统（MEMS）结构和设计结构 1-24
274、201310002115.XA 微机电系统（MEMS）电容式欧姆开关和设计结构 1-27
275、201310005807.XA 用于微机电系统显示架构的低范围位深度增强的方法及设备 1-46
276、201310019753.2A 一种基于MEMS传感器的航天器姿态测量方法 1-13
277、201310034847.7A 谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法 1-8
278、201310053119.0A 微机电系统传感器及其制造方法 1-23
279、201310078587.3A 一种微机电系统桥膜结构残余应力的测试方法 1-12
280、201310094691.1A MEMS传感器及其制造方法 1-22
281、201310114245.2A 微机电系统器件在制造过程中的加固方法 1-6
282、201310116006.0A 通用微机电系统计步器及计步方法 1-13
283、201310118845.6A 传感器电路和对微机电系统传感器进行测试的方法 1-13
284、201310119472.4A 传感器电路及测试微机电系统传感器的方法 1-14
285、201310122010.8A 一种基于低精度微机电系统的捷联惯导系统初始对准方法 1-13
286、201310127961.4A 微机电系统（MEMS）驱动器 1-15
287、201310132023.3A 基于微机电系统光谱分析的便携式拉曼光谱仪 1-11
288、201310148440.7A 双层微机电系统器件及其制造方法 1-65
289、201310167282.XA 微机电系统装置的气密性密封 1-20
290、201310168305.9A 微机电系统与集成电路的集成芯片及其制造方法 1-21
291、201310168693.0A 微机电系统镜片及微机电系统反射装置 1-8
292、201310185175.XA 基于微机电系统传感器的室内路径测量方法与装置 1-16
293、201310185782.6A 基于MEMS传感器的室内信号采集方法与装置 1-11
294、201310197201.0A 一种应用于微机电系统器件的真空封装方法 1-10
295、201310203177.7A MEMS传感器 1-29
296、201310206965.1A 微机电系统麦克风 1-11
297、201310234338.9A 微机电系统麦克风封装及封装方法 1-19
298、201310242552.9A 一种单轴微机电系统陀螺仪 1-8
299、201310248896.0A 蚀刻嵌在玻璃中的牺牲特征来制造微机电系统结构的方法 1-19
300、201310263665.7A 基于微机电系统的傅里叶光谱仪 1-16
301、201310298238.2A 基于弹性基底和背面引线的微机电系统探针卡和制备方法 1-11
302、201310336033.9A 一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法 1-13
303、201310336738.0A 微机电系统器件的封装结构 1-8
304、201310338398.5A 基于结构共振测量气体悬浮颗粒浓度的MEMS传感器 1-7
305、201310364252.8A 一种减少微机电系统麦克风制作过程中产生的粘黏的方法 1-10
306、201310391095.XA 基于MEMS传感器的电压基准通用启动电路 1-7
307、201310396689.XA 一种低应力MEMS传感器芯片的基板结构及制造方法 1-15
308、201310409827.3A 液态微机电系统电容器 1-20
309、201310409833.9A 液态微机电系统部件及其射频应用 1-23
310、201310410116.8A 液态微机电系统磁性部件 1-23
311、201310455985.2A 一种双扭摆式微机电磁场传感器 1-10
312、201310456380.5A 一种梳齿结构的微机电磁场传感器 1-6
313、201310456666.3A 一种电容式微机电磁场传感器 1-6
314、201310460039.7A 基于MEMS传感器的多功能耳机及其控制方法 1-11
315、201310461005.XA 一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器 1-9
316、201310463706.7A 加速度和角速度谐振检测集成结构及相关MEMS传感器设备 1-23
317、201310465392.4A 微机电陀螺系统及其控制方法 1-12
318、201310483098.6A 微机电系统 1-25
319、201310524559.XA 一种用于微机电系统的磁场调控的智能器件及其制备方法 1-11
320、201310530012.0A 一种MEMS传感器蘸胶装置及其应用的蘸胶方法 1-9
321、201310533362.2A 一种微机电系统封装方法 1-7
322、201310543099.5A 环境MEMS传感器三维柔性基板封装结构及制作方法 1-10
323、201310543225.7A 环境MEMS传感器基板封装结构及制作方法 1-8
324、201310552733.1A 微机电系统晶圆级封装结构及封装方法 1-8
325、201310624947.5A 用于微机电系统（MEMS）设备的弹簧 1-14
326、201310632884.8A 微机电系统用可动质量块的制造方法 1-8
327、201310655468.XA 一种基于微机电系统的挠曲电式微压力传感器 1-7
328、201310656967.0A 微机电系统元件、电子装置、高度计、电子设备及移动体 1-18
329、201310670469.1A 微机电系统元件、电子装置、高度计、电子设备及移动体 1-27
330、201310740267.XA 一种单芯片微机电系统及其制备方法 1-14
331、201310743095.1A 一种微机电系统及其制备方法 1-17
332、201310753593.4A 微机电系统及检测电路 1-24
333、201310753944.1A 基于柔性MEMS传感器的智能压力导丝及传感器制备方法 1-13
334、201310755060.XA 微机电系统麦克风芯片封装体 1-13
335、201310756907.6A 微机电系统谐振传感器及其控制方法 1-8
336、201380007588.7A 具有中心悬吊件和环架结构的微机电系统(MEMS)多轴陀螺仪 1-41
337、201380007615.0A 微机电系统(MEMS)多轴陀螺仪Z轴电极结构 1-41
338、201380033342.7A 专用集成电路(ASIC)上的微机电系统(MEMS) 1-22
339、201380033538.6A 具有微机电系统运动传感器的移动设备硬件姿态检测实现 1-14
340、201380048679.5A 供在微机电及其它系统中使用的开关及其制造工艺 1-19
341、201380050286.8A 形成传感器装置的MEMS传感器和方法 1-15
342、201380060719.8A 微机电系统(MEMS)可变电容器装置及相关方法 1-24
343、201380063807.3A 压阻式MEMS传感器 1-12
344、201380079462.0A 用于粘度和质量检测的小型化集成微机电系统（MEMS）光学传感器阵列 1-18
345、201410001233.3A MEMS传感器 1-7
346、201410008559.9A 多级灵敏度输出的微机电系统麦克风装置以及其电路 1-21
347、201410014636.1A 一种具有真空腔的微机电系统露点传感器及其制造方法 1-7
348、201410017812.7A 保护微机电系统麦克风声音端口及其在晶片级形成的方法 1-17
349、201410032346.XA 一种基于微机电系统的微干涉平台 1-10
350、201410032683.9A 具有抗裂膜结构的微机电系统器件及其制造方法 1-20
351、201410038648.8A MEMS传感器、半导体封装器件及方法 1-18
352、201410042030.9A 复合微机电系统芯片及其制作方法 1-14
353、201410056277.6A 微机电系统元件制造方法及以此方法制造的微机电系统元件 1-14
354、201410068797.9A 微机电系统封装结构 1-9
355、201410072383.3A 基于改进微分进化算法的微机电系统组件的布局优化方法 1-16
356、201410077250.5A 顶部端口微机电系统腔体封装 1-21
357、201410085898.7A MEMS传感器的加工方法 1-9
358、201410098538.0A 一种去除MEMS传感器之再沉积聚合物的方法 1-7
359、201410162059.0A 一种基于微机电系统技术的硅电容真空传感器 1-12
360、201410163452.1A 多振膜微机电系统麦克风结构 1-7
361、201410164571.9A 用于微机电系统器件的有源侧向力粘滞自恢复 1-15
362、201410168061.9A 用于释放微机电系统装置中的隔膜的方法 1-10
363、201410181932.0A MEMS传感器器件和相关MEMS传感器器件的晶片级组件 1-21
364、201410183524.9A 一种MEMS传感器封装结构及其封装方法 1-13
365、201410183960.6A MEMS传感器 1-20
366、201410190880.3A 微机电系统麦克风 1-10
367、201410223580.0A 一种微通道散热器及由其组成的微机电产品散热系统装置 1-10
368、201410262092.0A 微机电系统开关 1-8
369、201410270234.8A 微机电系统（MEMS）结构及设计结构 1-16
370、201410286345.8A 内嵌微机电传感器的神经元模式位移或变形监测方法 1-7
371、201410311674.3A 包含微机电系统装置的电子装置及其制造方法 1-32
372、201410314574.6A 梯度微机电系统麦克风 1-23
373、201410331842.5A 通过形成碳化硅层来减小微机电系统的粘滞 1-12
374、201410334686.8A 微机电系统压力传感器 1-10
375、201410346693.XA 微机电系统的可动载具结构 1-16
376、201410349209.9A 微机电系统器件 1-31
377、201410372664.0A 具有共构微机电感测单元的微机电系统元件 1-19
378、201410377477.1A 一种体硅微机电系统MEMS结构继续正面工艺的方法 1-13
379、201410432240.9A 微机电系统器件及其形成方法 1-18
380、201410452195.3A 一种MEMS传感器测试记录的管理方法及其系统 1-9
381、201410508390.3A 一种微机电系统运动传感器的制备方法 1-7
382、201410535365.4A 具有多刺激感测的MEMS传感器器件及其制作方法 1-21
383、201410544022.4A 一种微机电系统复合牺牲层的处理方法 1-4
384、201410597394.3A 微机电系统元件 1-17
385、201410599361.2A 静电驱动微机电系统二维扫描微镜 1-10
386、201410633238.8A 基于优化盒维数图像匹配的微机电系统面内位移测量方法 1-9
387、201410704500.3A 微机电系统麦克风封装元件以及封装方法 1-20
388、201410717696.XA 微机电系统麦克风构件和具有所述微机电系统麦克风构件的设备 1-9
389、201410746796.5A 一种基于微机电系统的光传感装置和光传感方法 1-10
390、201410752823.XA MEMS传感器及其制备方法 1-17
391、201410763887.XA 一种电-热驱动式微机电系统扭转梁疲劳强度的测试结构 1-6
392、201410804770.1A 微机电系统芯片 1-13
393、201410806304.7A MEMS传感器 1-17
394、201410815965.6A 一种多MEMS传感器的单芯片加工方法 1-9
395、201480010876.2A 容性MEMS传感器装置 1-21
396、201480011233.XA 氧化物层及氧化物层的制造方法、以及具备该氧化物层的电容器、半导体装置及微机电系统 1-34
397、201480013554.3A 用于高分辨率显示器的微机电系统快门组合件 1-103
398、201480016452.7A 具有集成挡板的微机电系统压力传感器 1-17
399、201480031829.6A MEMS传感器用模块、振动驱动模块及MEMS传感器 1-26
400、201480032151.3A 在微机电系统感测器中黏滞力减少的方法 1-9
401、201480039634.6A 微机电系统(MEMS)结构以及设计结构 1-18
402、201480041062.5A 用于微机电系统光子交换机的装置和方法 1-51
403、201480041249.5A 用于微机电系统光子交换机的装置和方法 1-33
404、201480042525.XA 用于微机电系统光开关的设备和方法 1-40
405、201480058985.1A 用于测量Z轴角速率的MEMS传感器 1-24
406、201480065272.8A 通过多层膜层压进行的微机电系统囊封 1-30
407、201480072490.4A 微机电系统电触点系统和方法 1-28
408、201480074972.3A 用于调节MEMS传感器元件的测量电容器上的偏置电压的方法和装置 1-10
409、201510052220.3A 用于MEMS传感器的刻蚀方法 1-10
410、201510053869.7A 微机电系统元件及其制造方法 1-31
411、201510082377.0A 集成电路融和MEMS传感器制造方法 1-11
412、201510094983.4A 微机电系统设备及其制造方法 1-14
413、201510094985.3A 微机电系统设备及其制造方法 1-14
414、201510098315.9A 用于感测压力波以及环境压力的变化的MEMS传感器结构 1-33
415、201510110156.XA 基于MEMS传感器不水平安装的车辆碰撞检测方法 1-9
416、201510116771.1A 基于MEMS传感器实现机械车体航向角检测的方法 1-12
417、201510119951.5A 微机电系统装置及其制造方法 1-15
418、201510129061.2A 微机电系统装置 1-17
419、201510132149.XA 微机电系统装置 1-18
420、201510135147.6A 利用误差反馈的MEMS传感器滤波 1-11
421、201510137255.7A 基于MEMS传感器的驾驶姿态检测系统 1-11
422、201510176786.7A 用于生产微机电系统的方法 1-12
423、201510210269.7A 微机电系统麦克风芯片、麦克风、电子设备及制造方法 1-11
424、201510258053.8A 具有解耦驱动系统的MEMS传感器 1-24
425、201510261088.7A 通过微机电系统驱动的无线设备及其方法 1-23
426、201510271585.5A 适用于MEMS传感器芯片的低应力封装结构 1-7
427、201510278407.5A 一种基于MEMS传感器检测洗衣机振动位移数据的方法 1-15
428、201510288991.2A MEMS传感器倒装叠层封装结构及其制备方法 1-9
429、201510335175.2A 用于微机电像素和显示器件和系统的薄膜结构、以及用于形成薄膜结构和相关器件的方法 1-15
430、201510343944.3A 一种基于MEMS传感器的风机叶片振动检测与控制装置 1-5
431、201510353813.3A 一种电容式MEMS传感器的加工方法及传感器结构 1-16
432、201510359467.XA 感知平面全方向振动的MEMS传感器和能量采集器及方法 1-8
433、201510369139.8A 基于微机电传感器、WiFi定位、磁场匹配的室内导航方法 1-20
434、201510379940.0A 具有不同高度的组合件的梯度微机电系统麦克风 1-35
435、201510389386.4A 一种基于单MEMS传感器的单相驱动电路结构 1-10
436、201510389411.9A 一种基于单MEMS传感器的单相驱动电路结构 1-10
437、201510389416.1A 一种基于单MEMS传感器的三相驱动电路结构 1-11
438、201510389435.4A 一种基于多MEMS传感器的单相驱动电路结构 1-10
439、201510389618.6A 一种基于多MEMS传感器的三相驱动电路结构 1-11
440、201510402853.2A 微机电系统感测芯片封装 1-9
441、201510439014.8A MEMS传感器及其制备方法 1-11
442、201510441722.5A MEMS传感器的封装结构及封装方法 1-11
443、201510441724.4A MEMS传感器的封装结构及封装方法 1-8
444、201510469374.2A 一种电容式MEMS传感器检测电路 1-11
445、201510502787.6A 一种可用于全方位振动信号测试的MEMS传感器及方法 1-15
446、201510528324.7A 微机电系统MEMS磁通门磁强计测试系统及其控制方法 1-11
447、201510580009.9A 一种微机电系统电容式压力传感器及其制备方法 1-8
448、201510601567.9A 微机电系统封装结构及其制作方法 1-15
449、201510605361.3A 用于微机电系统的偏移消除设备 1-19
450、201510613613.7A 微机电振动传感器 1-13
451、201510617061.7A 具有机械去耦的微集成封装MEMS传感器及其制造方法 1-13
452、201510624967.1A 用于MEMS传感器器件的晶片级封装及对应制造工艺 1-24
453、201510640792.3A 一种基于MEMS传感器的碰撞事故识别方法 1-12
454、201510664990.3A 基于九轴MEMS传感器的农业机械全姿态角更新方法 1-16
455、201510674331.8A 一种九轴MEMS传感器 1-23
456、201510693596.2A 微机电系统芯片封装及其制造方法 1-13
457、201510726631.6A 微机电系统控制阀以及控制敏感流体的方法 1-18
458、201510735507.6A 防止湿清洗工艺之后的粘滞的微机电系统（MEMS）结构 1-21
459、201510755259.1A 微机电系统及其制造方法 1-37
460、201510775243.7A 一种微机电系统圆片级真空封装方法 1-9
461、201510783708.3A 运动微机电系统（MEMS）封装件 1-16
462、201510810075.0A MEMS传感器组合输出温度漂移误差系数试验测定方法 1-9
463、201510814841.0A MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法 1-6
464、201510825298.4A 基于无线指纹和MEMS传感器的融合导航装置和方法 1-26
465、201510860709.3A 箱隔离的充油微机电系统压力传感器 1-23
466、201510916566.3A 用于MEMS传感器的折叠弹簧组以及MEMS传感器 1-9
467、201510959028.2A 具有可移动厚隔膜的微机电系统结构 1-16
468、201510971269.9A 具有多层隔膜的微机电系统结构 1-18
469、201511020146.3A 具有储热元件的微机电温度控制系统 1-30
470、201580001727.4A 用于微机电系统光子开关的设备及方法 1-34
471、201580008467.3A 微机电系统和用于制造微机电系统的方法 1-41
472、201580024337.9A 包含微机电系统声敏感测器和环境感测器的集成封装件及其制造方法 1-14
473、201580031997.XA 具有放电电路的微机电系统器件 1-29
474、201580039226.5A 包括机械预加载悬架弹簧的MEMS传感器结构 1-34
475、201580042942.9A 用于MEMS传感器的封装 1-32
476、201580045072.0A 集成有倒装芯片的微机电系统感测器 1-10
477、201580047745.6A 集积式CMOS及MEMS传感器制作方法与结构 1-12
478、201580048185.6A 用于三维集成电路(3D IC)集成的晶片转移的微机电系统(MEMS)接合释放结构及方法 1-30
479、201580052878.2A 减少微机电系统装置中的介电充电的系统、装置和方法 1-19
480、201580054043.0A 微机电系统光子交换机的装置及方法 1-94
481、201580065424.9A MEMS传感器和半导体封装 1-12
482、201580065703.5A 用于MEMS传感器系统同步的系统和方法 1-21
483、201580067231.7A 用于微机电陀螺仪的正交补偿方法和陀螺仪传感器 1-26
484、201580068520.9A 用于微机电系统的排气件附接系统 1-9
485、201580074297.9A 用于气溶胶递送装置的基于MEMS的传感器 1-16
486、201580076079.9A 柔性一次性MEMS压力传感器 1-13
487、201610003029.4A 基于I2C接口快速读取多个MEMS传感器数据的模块和方法 1-10
488、201610008239.2A 微机电系统(MEMS)器件的晶圆级气密密封工艺 1-32
489、201610014897.2A 基于SPI接口的多MEMS传感器快速数据存取系统及方法 1-13
490、201610067655.XA 基于MEMS惯性传感器的人体姿态检测系统及其检测方法 1-11
491、201610077219.0A 一种基于MEMS传感器的海底滑坡监测装置及监测方法 1-15
492、201610081279.XA 一种基于MEMS传感器的足下垂治疗方法 1-13
493、201610102497.7A 微机电力量传感器以及力量感测装置 1-16
494、201610102836.1A 基于MEMS传感器的老年人跌倒监测方法 1-8
495、201610115375.1A 判断微机电系统装置是否气密的方法 1-16
496、201610119087.3A 微机电系统核电池 1-10
497、201610133169.3A 包含非周边弹性件的微机电系统声响传感器 1-27
498、201610136485.6A 微机电系统装置、液体喷射头以及液体喷射装置 1-23
499、201610151099.4A 一种基于MEMS传感器的路基沉降监测系统 1-7
500、201610173202.5A MEMS传感器、基于MEMS传感器的热力参数测量方法 1-12
501、201610201830.XA 一种MEMS惯性传感器自动批量标定方法及系统 1-7
502、201610209965.0A 一种微机电产品测量过程中温度均衡判断方法及系统 1-22
503、201610245161.6A 用于MEMS传感器的系统和方法 1-44
504、201610245412.0A 用于MEMS传感器的系统和方法 1-45
505、201610245492.XA 用于MEMS传感器的系统和方法 1-45
506、201610251519.6A 基于FPGA的微机电混合ΣΔM加速度计闭环检测电路系统 1-20
507、201610266212.3A 一种基于MEMS传感器的计步导航方法 1-10
508、201610286392.1A 一种微机电系统开关 1-9
509、201610287169.9A 一种微机电系统开关 1-7
510、201610302240.6A 一种微机电产品测试数据同步安全转移方法及系统 1-11
511、201610311685.0A 微机电系统装置 1-40
512、201610320498.9A 基于MEMS传感器和手机APP控制的LED感应灯及其控制方法 1-11
513、201610322046.4A 多轴MEMS传感器模块及其垂直组装方法 1-21
514、201610334198.6A 微机电系统装置及其制造方法 1-17
515、201610336430.XA 热隔离微机电系统（MEMS）器件的单片制造 1-20
516、201610479901.2A 具有自测试模式的MEMS传感器装置 1-22
517、201610509845.2A 微机电麦克风、包括微机电麦克风的电子系统和制造工艺 1-17
518、201610522333.XA 一种基于微机电惯性传感器与摄像机的船载视频同步采集系统及方法 1-7
519、201610542711.0A 用于高度集成的光学读出MEMS传感器的系统和方法 1-22
520、201610554237.3A 微机电系统器件封装结构及方法 1-11
521、201610555812.1A 一种微机电系统器件封装结构及方法 1-9
522、201610562510.7A 微机电系统传感器的制造方法 1-13
523、201610568221.8A 一种带MEMS传感器的智能轴承 1-5
524、201610594788.2A 一种数字输出的无源阵列式MEMS传感器 1-7
525、201610642260.8A 用于MEMS传感器的针对基于时间的光学敏感元件的系统和方法 1-16
526、201610743472.5A 一种提高微机电系统压力传感器过载能力的方法 1-11
527、201610817614.8A 制造微机电系统封装的方法 1-15
528、201610824596.6A 基于ZigBee和MEMS传感器的户外广告安全检测方法 1-10
529、201610832295.8A 具有侧面端口的MEMS传感器和其制造方法 1-19
530、201610857572.0A 应力敏感性降低的微机电传感器器件 1-17
531、201610859918.0A 一种位移放大结构、微机电系统及微机电系统的控制方法 1-8
532、201610863804.3A 用于微机电系统芯片的基片、微机电系统芯片及制备方法 1-10
533、201610868540.0A 用于制造MEMS压力传感器的方法和相应的MEMS压力传感器 1-20
534、201610875657.1A 具有高精度以及对温度和老化低敏感性的MEMS加速度度量传感器 1-20
535、201610877204.2A 用于MEMS传感器设备特别是MEMS陀螺仪的具有改进的驱动特征的微机械检测结构 1-16
536、201610885979.4A 非晶碳膜的形成方法以及微机电系统器件的制作方法 1-9
537、201610888004.7A 一种MEMS传感器低应力封装管壳及封装系统 1-7
538、201610914688.3A 微机电系统微桥压痕载荷 深度曲线的校准方法 1-11
539、201610925667.1A 具有集成多个刺激感测能力的MEMS传感器装置 1-18
540、201610962157.1A 基于MEMS传感器的电机振动测量仪 1-16
541、201610962395.2A 一种基于微机电系统的组合体式飞行器 1-7
542、201610970705.5A 微机电系统封装 1-17
543、201610984262.5A 用于MEMS 传感器的加热装置 1-12
544、201611032419.0A 微机电系统结构和其制造方法 1-26
545、201611039292.5A 制造微机电系统MEMS装置的方法 1-23
546、201611041378.1A 信号线和驱动线分离的电容式射频微机电系统开关 1-7
547、201611041741.XA 在MEMS传感器上形成过滤网的方法以及MEMS传感器 1-12
548、201611072013.5A 堆叠式MEMS传感器封装体、芯片及其制作方法 1-17
549、201611095013.7A 一种微机电系统器件封装方法及结构 1-11
550、201611264764.7A MEMS传感器封装结构及其形成方法 1-50
551、201680011497.4A 具有用于流体成分补偿的MEMS热式流量传感器 1-22
552、201680014763.9A MEMS传感器，尤其是压力传感器 1-16
553、201680021717.1A MEMS传感器组件 1-14
554、201680035458.8A 用于微机电系统静摩擦减少的硅烷改性流体 1-34
555、201710011724.XA 基于MEMS传感器阵列的高精度惯性量测量方法及测量系统 1-13
556、201710052327.7A 微机电质量流量传感器组件及其制作方法 1-16
557、201710069088.6A 微机电系统湿度感测器 1-12
558、201710109007.0A 微机电系统和制造微机电系统的方法 1-37
559、201710124029.4A 一种提高微机电系统近红外光谱仪吸光度重复性的方法 1-7
560、201710138488.8A 一种提高微机电系统近红外光谱仪分辨率的方法 1-9
561、201710150940.2A 用于射频微机电系统的圆片级封装结构及其封装方法 1-7
562、201710182877.0A 一种微机电系统及其制备方法 1-10
563、201710190187.XA 高准确度且对温度和老化具有低灵敏度的MEMS加速度传感器 1-19
564、201710221710.0A 一种基于MEMS压力传感器协同卫星定位的方法及系统 1-13
565、201710235294.XA 基于MEMS惯性传感器模组的工业手环 1-10
566、201710239774.3A 压电微机电系统 1-29
567、201710241902.8A 微机电系统器件的封装结构及方法 1-14
568、201710242800.8A 微机电系统（MEMS）封装件及其制造方法 1-18
569、201710253867.1A 一种基于光学检测的微机电系统平台 1-9
570、201710256317.5A 用于具有集成微机电系统的器件的结构 1-25
571、201710273858.9A 一种全差分力平衡模式MEMS加速度传感器信号处理电路 1-16
572、201710281423.9A 基于MEMS技术的差压流量传感器及其加工方法 1-12
573、201710289718.0A 底部封装体暴露的裸片MEMS压力传感器集成电路封装体设计 1-16
574、201710290496.4A 一种梁膜机构的微机电系统压力传感器芯片及其制备方法 1-7
575、201710327901.5A 一种加强型结构的MEMS图像传感器像元 1-9
576、201710330728.4A 一种支撑梁式MEMS流体热导率和热扩散系数传感器及其制备和测试方法 1-14
577、201710357236.4A 基于矩不变理论微机电系统射频继电器触点边缘检测方法 1-9
578、201710365937.2A 一种微机电系统器件及其制造方法 1-12
579、201710390893.9A MEMS传感器晶圆、MEMS传感器晶圆的裂片方法 1-13
580、201710394850.8A 基于MEMS姿态传感器的水下面形变形实时监测系统 1-9
581、201710410258.2A 面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构 1-7
582、201710423895.3A MEMS压力传感器 1-6
583、201710432516.7A 一种折合梁结构的MEMS磁场传感器及制备方法 1-13
584、201710435498.8A 一种基于柔性材料的MEMS加速度传感器的设计及其制作方法 1-8
585、201710438230.XA 力学性能良好的微机电系统结构电介质及其制备方法 1-7
586、201710457067.1A 微机电系统传感器的气体检测方法、传感器及存储介质 1-17
587、201710481252.4A 微机电系统装置、压电致动器、以及超声波电机 1-25
588、201710483677.9A 一种扭摆平移式微机电磁场传感器 1-8
589、201710483769.7A 一种扭摆式叉指微机电磁场传感器 1-7
590、201710488194.8A 微机电系统器件及其制备方法 1-11
591、201710492063.7A 一种基于石墨烯的MEMS声学传感器及其制作方法 1-10
592、201710505286.2A 一种MEMS电容式压力传感器的新型敏感结构 1-8
593、201710505803.6A 基于MEMS传感器和VLC定位融合的单卡尔曼滤波导航装置和方法 1-17
594、201710505805.5A 基于MEMS传感器和VLC定位融合的双卡尔曼滤波导航装置和方法 1-20
595、201710506549.1A 基于MEMS传感器和VLC定位融合的双粒子滤波导航装置和方法 1-17
596、201710507321.4A 基于MEMS传感器和VLC定位融合的单粒子滤波导航装置和方法 1-14
597、201710521597.8A 用于微机电系统装置和互补金属氧化物半导体装置的集成 1-54
598、201710538627.6A 一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法 1-11
599、201710539077.XA 一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法 1-10
600、201710555617.3A MEMS地面大气电场传感器 1-11
601、201710555618.8A 一种绝缘密封结构的MEMS电场传感器 1-8
602、201710557211.9A 一种集成式MEMS充油压力传感器 1-6
603、201710561498.2A 基于对合并式MEMS加速计传感器斩波的降噪方法及电子电路 1-15
604、201710581147.8A 基于MEMS微振镜的微型光谱仪、气体传感器及光谱检测方法 1-14
605、201710594525.6A 基于MEMS电场传感器的临近带电线路监控报警装置 1-7
606、201710615991.8A MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置 1-12
607、201710633123.2A 一种高精度MEMS角度传感器敏感结构及加工方法 1-13
608、201710633525.2A 微机电设备、微机电系统和制造微机电设备的方法 1-47
609、201710655332.7A 分数阶弧形微机电系统的自适应同步控制方法 1-18
610、201710688334.6A 一种MEMS压力传感器的制备方法 1-8
611、201710698328.9A MEMS流量传感器的制造方法 1-9
612、201710703888.9A 一种电容式MEMS传感器阵列 1-16
613、201710725973.5A 一种基于X型声子晶体的无线无源MEMS传感器 1-15
614、201710828743.1A 一种微机电系统麦克风及声学设备 1-7
615、201710855225.9A 一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法 1-14
616、201710873107.0A 微机电压力传感器结构以及压力传感器 1-28
617、201710889400.6A 一种MEMS温度传感器及其开关柜测温系统 1-8
618、201710893397.5A 微机电系统麦克风 1-11
619、201710916268.3A 一种微机室的计算机电源管理系统 1-6
620、201710946611.9A 一种带叉指的同心圆状MEMS低电导率传感器及使用方法 1-7
621、201710974939.1A 一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪 1-6
622、201711035590.1A 一种基于MEMS传感器的速度测试系统 1-5
623、201711035602.0A 一种基于MEMS传感器的振动测试系统 1-5
624、201711102572.0A 基于MEMS的流速传感器、流速测量电路及方法 1-12
微机电技术国外专利资料
625、TW201114677 MEMS structure with a flexible membrane and improved electric actuation means 1-64
626、TW201114679 A superfilling secondary metallization process in MEMS fabrication 1-40
627、TW201116477 Selective UV-ozone dry etching of anti-stiction coatings for MEMS device fabrication 1-31
628、TW201118033 Lid, fabricating method thereof, and MEMS package made thereby 1-23
629、TW201118034 MEMS integrated chip and method for making same 1-20
630、TW201118035 Fabricating method of single chip for intergating with field-effect transistor and MEMS 1-26
631、TW201118036 Silicon-rich nitride etch stop layer for vapor HF etching in MEMS device fabrication 1-26
632、TW201119933 CMOS-MEMS cantilever structure 1-23
633、TW201121248 Micro-electro-mechanical systems MEMS, systems and operating methods thereof 1-32
634、TW201123283 Method for dicing a MEMS wafer 1-14
635、TW201123567 MEMS process and device 1-66
636、TW201125807 Microelectromechanical system MEMS device and methods for fabricating the same 1-26
637、TW201126145 Fixture and method for vibration or shock testing of MEMS component 1-25
638、TW201126660 MEMS microphone packages and fabrication methods thereof 1-53
639、TW201126661 MEMS chip package and method for making the same 1-27
640、TW201126669 Package structure having MEMS element and method of making the same 1-37
641、TW201127088 MEMS microphone and manufacturing method of the same 1-42
642、TW201127740 Method of making a lid member of MEMS devices 1-23
643、TW201128741 Method for forming a lid member on MEMS device 1-17
644、TW201129117 Method of fabricating a MEMS microphone 1-20
645、TW201129119 MEMS microphone package and packaging method 1-19
646、US2010314724A1 Selective UV-ozone dry etching of anti-stiction coatings for MEMS device fabrication 1-10
647、US2010320548A1 Silicon-rich nitride etch stop layer for vapor HF etching in MEMS device fabrication 1-10
648、US2011027941A1 METHOD OF FORMING MONOLITHIC CMOS-MEMS HYBRID INTEGRATED, PACKAGED STRUCTURES 1-29
649、US2011057826A1 Micro-electro-mechanical systems MEMS, systems and operating methods thereof 1-15
650、US2011100826A1 A superfilling secondary metallization process in MEMS fabrication 1-13
651、US2011117747A1 Fabricating method of single chip for intergating with field-effect transistor and MEMS 1-15
652、US2011133256A1 CMOS-MEMS cantilever structure 1-11
653、US2011175177A1 Microelectromechanical system MEMS device and methods for fabricating the same 1-12
654、US2011272769A1 MEMS microphone package and packaging method 1-10
655、US2011285445 RIVE LOOP FOR MEMS OSCILLATOR 1-13
656、US2011286068 tatic Stray Light Removal for MEMS Feed Optics in a Scanned Beam Display 1-12
657、US2011290552 ETHOD AND SYSTEM FOR PACKAGING MEMS DEVICES WITH INCORPORATED GETTER 1-14
658、US2011292121 EMS INTEGRATED CIRCUIT HAVING BACKSIDE CONNECTIONS TO DRIVE CIRCUITRY VIA 1-33
659、US2011295546 EMS ACCELEROMETER DEVICE 1-19
660、US2011314913 EMS Tunneling Accelerometer 1-9
661、US2011316100 EMS MICROPHONE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME 1-23
662、US2011318854 ETHOD OF MOUNTING MEMS INTEGRATED CIRCUITS DIRECTLY FROM WAFER FILM FRAME 1-18
663、US2012000389 AFETY AND ARMING DEVICE FOR PROJECTILES INERTIAL LOCK WITH MEMS 1-7
664、US2012001277 ETHODS FOR MAKING IN-PLANE AND OUT-OF-PLANE SENSING 1-14
665、US2012013412 EMS RESONATOR DEVICES 1-17
666、US2012015468 URFACE MOUNT MEMS DEVICE STRUCTURE AND FABRICATING METHOD THEREOF FOR 1-12
667、US2012016362 urgical Instrument Including MEMS Devices 1-25
668、US2012017423 NTERCONNECT FOR MEMS DEVICE INCLUDING A VISCOELASTIC SEPTUM 1-10
669、US2012017978 nergy harvesting using RF MEMS 1-8
670、US2012018514 EMS barcode device for monitoring medical systems at point of care 1-10
671、US2012019713A1 MEMS-BASED APERTURE AND SHUTTER 1-28
672、US2012021550 ETHOD FOR FABRICATING A FIXED STRUCTURE DEFINING A VOLUME RECEIVING A 1-13
673、US2012024054 IGH ACCURACY BATTERY-OPERATED MEMS MASS FLOW METER 1-9
674、US2012024389 NTEGRATED ELECTROMAGNETIC ACTUATOR, IN PARTICULAR ELECTROMAGNETIC 1-19
675、US2012025333 EMS ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME 1-41
676、US2012025334 EMS CAPACITIVE MICROPHONE 1-13
677、US2012025335 ICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) PACKAGE 1-9
678、US2012025337 EMS TRANSDUCER DEVICE HAVING STRESS MITIGATION STRUCTURE AND METHOD OF 1-16
679、US2012025922 ICRO-ELECTRO-MECHANICAL-SYSTEM (MEMS) RESONATOR AND MANUFACTURING METHOD 1-14
680、US2012026734 PTOMECHANICAL MEMS DEVICE 1-7
681、US2012027235 EMS CAPACITIVE MICROPHONE 1-17
682、US2012031744 EMS SWITCH AND COMMUNICATION DEVICE USING THE SAME 1-19
683、US2012032282 ICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) CARRIER AND METHOD OF FABRICATING THE 1-11
684、US2012032285 lectronic Device Including MEMS Devices And Holed Substrates, In 1-18
685、US2012032286 HREE DIMENSIONAL FOLDED MEMS TECHNOLOGY FOR MULTI-AXIS SENSOR SYSTEMS 1-37
686、US2012032692A1 MEMS GAS SENSOR 1-21
687、US2012032747 EMS OSCILLATOR 1-15
688、US2012034724 ETHOD AND APPARATUS FOR MEMS OSCILLATOR 1-20
689、US2012037790 DJUSTABLY TRANSMISSIVE MEMS-BASED DEVICES 1-36
690、US2012038019 EMS Device and Fabrication Method 1-15
691、US2012038963 EMS DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING MEMS DEVICE 1-49
692、US2012132003 EMS BIAXIAL RESONANT ACCELEROMETER 1-16
693、US2012133002 ethod for producing MEMS structures, and MEMS structure 1-8
694、US2012133006 XIDE MEMS BEAM 1-31
695、US2012136573 TTITUDE ESTIMATION FOR PEDESTRIAN NAVIGATION USING LOW COST MEMS 1-58
696、US2012137773 pparatus and Method for Anchoring Electrodes in MEMS Devices 1-20
697、US2012138436 EMS SWITCHES AND FABRICATION METHODS 1-15
698、US2012139050 ETHOD AND STRUCTURE OF MONOLITHICALLY INTEGRATED IC-MEMS OSCILLATOR USING 1-54
699、US2012139065 EMS DEVICE AND MANUFACTURING METHOD 1-9
700、US2012140302 EMS-BASED OPTICAL IMAGE SCANNING APPARATUS, METHODS, AND SYSTEMS 1-18
701、US2012140313 EMS DEVICE FABRICATED ON A PRE-PATTERNED SUBSTRATE 1-21
702、US2012142136 AFER LEVEL PACKAGING PROCESS FOR MEMS DEVICES 1-8
703、US2012142144 afer Level Structures and Methods for Fabricating and Packaging MEMS 1-27
704、US2012186338 EMS MOEMS SENSOR DESIGN 1-34
705、US2012186346 EMS SENSOR WITH FOLDED TORSION SPRINGS 1-7
706、US2012186347 EMS SENSOR WITH DUAL PROOF MASSES 1-8
707、US2012187077 ICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) MICROPHONE AND METHOD OF 1-12
708、US2012187507 EMS RESONATOR 1-15
709、US2012187804 RCHITECTURE FOR PIEZOELECTRIC MEMS DEVICES 1-15
710、US2012188023 ptimal Leg Design for MEMS Resonator 1-11
711、US2012188819 ETHODS AND SYSTEMS FOR MEMS CMOS PROGRAMMABLE MEMORIES AND RELATED 1-13
712、US2012190104 EMS Particle sorting actuator and method of manufacturing 1-22
713、US2012190105 artridge for MEMS particle sorting system 1-13
714、US2012193684 ltrananocrystalline Diamond Films with Optimized Dielectric Properties 1-28
715、US2012193685 F-MEMS Capacitive Switches With High Reliability 1-13
716、US2012193732 EMS DEVICE AND METHOD FOR FORMING THE SAME 1-13
717、US2012193733 APACITANCE TYPE MEMS SENSOR 1-38
718、US2012193754 EMS DEVICE WITH INTEGRAL PACKAGING 1-22
719、US2012193781 USTOMIZED RF MEMS CAPACITOR ARRAY USING REDISTRIBUTION LAYER 1-12
720、US2012194207 ETHOD AND SYSTEM FOR TESTING OF MEMS DEVICES 1-47
721、US2012194296 IMULTANEOUS PHASE AND AMPLITUDE CONTROL USING TRIPLE STUB TOPOLOGY AND 1-12
722、US2012195551 EMS-BASED LEVERS AND THEIR USE FOR ALIGNMENT OF OPTICAL ELEMENTS 1-14
723、US2012197442 ETHOD AND APPARATUS FOR IMPROVING SHOCK RESISTANCE OF MEMS STRUCTURES 1-27
724、US2012197554 ELF-HEATED MEMS BASED CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE 1-11
725、US8129805B2 Microelectromechanical system MEMS device and methods for fabricating the same 1-12
726、US8237296B2 Selective UV-ozone dry etching of anti-stiction coatings for MEMS device fabrication 1-10
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